Œзбекистан республикаси олий ва œрта махсус таълим вазирлиги

§7. Масс-спектрометрик газ анализаторлари 
7.1. Усулнинг физикавий асослари 
Қаттиқ жисм сиртини ўрганиш замонавий фаннинг энг мухим 
муаммоларидан биридир. Турли материаллар бир-бирлари билан сиртлари 
орқали ўзаро таъсирлашганликлари учун бутун материалнинг ўзини тутиши ва 
хусусиятларни янги турдаги асбоб ускуна, машина ва механизмларни яратиш 

---

96 
имкониятлари кўп жихатдан бизнинг ана шу мухитлар ажралиш сиртларининг 
тузилиши, таркиби, хусусиятлар, ҳамда уларда кечадиган турли жараѐнлар 
микромеханизм ва ҳодислар тўғрисидаги билимларимизнинг қай даражада 
юқорилигига боғлиқ. Сирт билан боғлиқ муаммоларни санаб адоғига 
етолмаймиз. Булар, масалан, маеталл буюмлар мустаҳкамлигини ошириш, 
уларнинг занглашга чидамлилиги, янги эфекктив сирт қатламлари ҳосил қилиш, 
сиртга ишлов беришнинг янги физикавий усулларини топиш, микроэлектрон 
схемалар пухталигини ошириш, катализ, адгезия, ишқаланиш каби 
муаммолардир. 
Қаттиқ жисм сирт ҳолатини тадқиқ қилишнинг жуда кўп усуллари мавжуд. 
Усулларга қўйиладиган асосий талаб – бу 10-50 А чуқурлик атрофидаги сирт 
олди қатламларидан етарли даражада сезгирлик билан маълумот олишдир. 
Сирт ҳолати тўғрисидаги маълумотни олиш йўли бўйича таҳлил этиш 
усуллари эмиссиявий ва зонтловчи турларга бўлинадилар. Биринчисида бирон 
ташқи таъсир ҳарорат, электр майдон, механик кучлани ва ҳ.к. сиртдан 
бўладиган заррачалар эмиссиясининг аниқ бир туридан фойдаланилади. 
Иккинчиси эса сирт билан зонтловчи заррачалар оқими молекулалар, атомлар, 
ионлар, электронлар, позитронлар ѐки электромагнит нурланишлар билан ўзаро 
таъсир натижасида содир бўладиган заррачалар эмиссияси ѐки электромагнит 
нурланиши ҳосил бўлишига асосланган. 
ИИМС
таҳлили усулида қаттиқ жисм сиртига 3-15 кэВ оралиқдаги 
энергияга эга бўлган мусбат ѐки манфий ионлар оқими юборилади. Бу бирламчи 
ионлар оқими сиртни зонловчи асбоб вазифасини ўтайди. Тезлатилган ион 
қаттиқ нишонга тушаѐтиб, ѐ қаттиқ жисм ичига кириб кетади ва бир қатор 
эластик ва ноэластик тўқнашувлар оқибатида ўз энергиясини йўқотади, ѐки 
бирон сирт атоми билан ортга қайтади (1-тасвир). Сиртда ѐки унга яқин жойда 
ҳосил бўлган тепки олувчи атом энергиясини қиймати етарли бўлиб ҳаракат 
йўналиши сирт тарафида бўлса, қаттиқ жисмдан чангланиши кузатилади. Уриб 
чиқарилган заррачалар сиртини тарк этиш чоғида нейтрал таъсирланган ѐки 
зарядланган мусбат ва манфий ҳолатда бўлишлари мумкин. Уларнинг ўртача 

---

97 
кинетик энергиялари одатда 10 эВ атрофида бўлиб, баъзиларининг энергияси эса 
100 лаб электронвольтларга етиши мумкин. 
Чангланган заррачалар сирт олди қатламининг 30 А дан катта қалинигидан 
чиқади ва бирламчи ионлар юузага келтирган қатор тўқнашувлар характерига 
боғлиқ бўлади. Бу тўқнашувлар ҳарактери эса асосан бирламчи ионлар 
энергияси, бирламчи ион ва нишин атомларининг атом рақами ва масаслаларига 
боғлиқ бўлади.