Œзбекистан республикаси олий ва œрта махсус таълим вазирлиги

F
-1
=f(U
2
/U
1
) (20) 
Муносабат ѐрдамида аниқланган яккаланган линзанинг фокус масофаси 65 
см бўлганда U
2
/U
1
=2,1. Қарши ѐн уч хам зангламайдиган пўлатдан ясалган бўлиб 
масс-спектрометрнинг ион манбаи бўлинмасига ѐнма-ѐн йўналишда уланган. 
Юқори частотали разряд қуввати 60 кВт, частотаси 36 МГц бўлган 
генератор ѐрдамида ѐқилади. Генераторнинг юқори частотали индуктивлик 

---

114 
ғалтаги разряд ҳажми ташқарисидаги индукторларга ѐнма-ѐн уланган 5х10 мм 
ўлчамли намуна бирламчи ион нури йўналишига 45 бурчак остида намуна 
тутгичга ўрнатилади. Иккиламчи ва қайтган бирламчи ионлар масс-
спектрометрнинг ўз ион манбаи оптик системаси ѐрдамида тортиб олиб нур 
дастасига айлантириб берилади. 
Ишчи газ сифатида Ar ишлатилиб, у разряд ҳажмига дозалаб берувчи 
жумрак орқали узатилади. 
7.7. ИИМС ҚУРИЛМАНИНГ ИМКОНИЯТЛАРИ
1.
Ихтиѐрий қаттиқ жисмлар (металл, яримўгказгич ѐки диэлектрик)ни ҳар 
қандай дастлабки ишловсиз таҳлил этиш мумкин. 
2.
Ўзининг табиатда тарқалиш қонуниятига қараб даврий жадвалнинг барча 
элементларини аниқлаш мумкин. 
3.
Усулнинг сезгирлиг материалдан иккиламчи ионлар чикиши билан 
белгиланиб, ҳар см даги ўзга киришма элементларининг 10
-11
-10
-19
атомини ташкил қилади. Бу 10
-6 
– 10
-7
г сезгирликка мос келади. Материал 
сарфи 10
-10
-10
-12
г.
4.
Сезгирлик чегараси 10
-6
моноқатлам. 
5.
Қатлама қатлам таҳлилда чуқурлик бўйича ажратиш қобилияти жуда 
юқори бўлиб, 30-100 А(0,003-0,01 мкм) ни ташкил қилади 
6.
Фақат айрим элементларгина эмас, балки уларнинг кимѐвий бирикмалари 
ҳам таҳлил қилинади. 
 
Масс-спектрометрлар газларни анализ қилишда энг такомиллашган 
асбоблардандир. Улар кимѐвий ва физик хоссаларидан қатъи назар, 
моддаларнинг изотоп ва молекуляр таркибини аниқлашга мўлжалланган. 
Массаспектрометрик 
усул 
мураккаб 
аралашмалардаги 
кўпгина 
компонентларнинг миқдорини аниқлашга имкон бериб, бунда анализни жуда тез 
ўтказишни таъминлайди. 
Анализ қилишда анализ қилинаѐтган модданинг молекулалари қизиган 
катод эмиттерлайдиган электронлар ѐрдамида ионланади, электр линзалар 

---

115 
системаси воситасида тор даста тарзида фокусланади, тезлатувчи электроннинг 
электр майдонида тезлатилади ва электронлар коллекторида тутиб қолинади. 
Ион дастанинг таркиби анализ қилинаѐтган газ аралашмасинннг молекуляр 
таркибига мое келади. Кундаланг магнит майдони таъсирида оқим ионлар 
массасининг уларнинг зарядларига нисбати билан фарқ қиладиган ион нурларига 
ажралади, бўлар кейин коллекторга келади. 
Коллектор занжирида массалари турлича ионлар электр токи ҳосил қилади, 
бу токлар олдин кучайтирилганидан кейин ўлчанади ва электрон қайд этувчи 
қурилма ѐрдамида ѐзиб қўйилади. Магнит майдонининг кучланганлиги аста-
секин ўзгартириб борилганида текширилаѐтган газнинг молекуляр таркибини 
характерловчи ион токлари спектри ѐки массаспектрлар ѐзилади. Миқдорий 
анализ ўтказиш учун массаспектрометрни текширилаѐтган моддада бор деб 
тахмин қилинган ҳар қайси компонент бўйича олдиндан даражаланади. 
Массаспектрометрларнинг конструкцияси аналитик ва ўлчаш қисмларидан 
иборат. Аналитик қисмда ион дасталари массалари бўйича ҳосил қилинади, 
шакллантирилади ва ажратилади. Ўлчаш қисми ионлар манбасини ва ишга 
тушириш системасини стабиллашган кучланиш билан таъминлаш, ион 
токларини ўлчаш ва қайд этиш, вакуум системасида босимни ўлчаш, масса 
сонларини индекслаш ва ҳоказолар учун мўлжалланган. 
ГОСТ 12862-81 га кўра массспектрометрлар учта типга: кимѐвий таркибни 
анализ қилиш учун MX; модданинг структураси ва хоссаларини текшириш учун
МС; изотоп анализ қилиш учун МИ типларга бўлинади. МС типидаги 
массаспектрометрлар 
лаборатория 
шароитларида ўтказиладиган 
илмий 
тадқиқотлар учун мўлжалланган. 
Ватанимиз саноати химиявий таркибини анализ қиладиган МХ-7201, МХ-
7304, MX-1320 ва изотоп анализ қиладиган МИ-1201Б масса-спектрометрларини 
чиқаради. 
МХ-7201 масса-спектрометри металларда ва уларнинг қотишмаларида Н
2
, 
О
2
, N
2
, C
2
газлари ва уларнинг газ ҳосил қилувчи қўшилмалари микдорини 
аниқлаш учун мўлжалланган. Текширилаѐтган материалдан газ ажралиб чиқиши 

---

116 
вакуумда суюқлаитириш йўли билан ѐки графитли тигелда амалга оширилади. 
Газсимон қўшилмаларнинг таркибини аниқлаш монопрляр (бир қутбли) масса-
спектрометр ѐрдамида амалга оширилади. Масса сонлари бўйича ўлчаш 
чегаралари 2-60. 
Магнитсиз МХ-7304 масса-спектрометри сўриб (тортиб) олиш системалари 
билан таъминланган вакуумли системаларда қолдиқ газларни сифат жиҳатидан 
анализ қилиш учун мўлжалланган. Масса сонлари бўйича ўлчаш чегаралари 2–
200, анализ қилиш хатолиги ±2,5%. 
MX-1320 масса-спектрометри газ аралашмаларини, суюқликларни ва 400°С 
гача температурада газсимон ҳолатга ўтадиган қаттиқ моддаларни миқдор ва 
сифат жиҳатидан анализ қилиш учун мўлжалланган. Масса сонлари бўйича 
ўлчаш чегараси 1— 4000, анализ қилиш хатолиги ±5 – 10
-6
%. 
МИ-1201Б масса-спектрометри газларнинг ва қаттиқ моддаларнинг изотоп 
таркибини саноат шароитида анализ қилиш учун мўлжалланган. Ўлчаш 
натижаларини ўлчаш CM1 базавий ҳисоблаш комплекси ѐрдамида амалга 
оширилади. Масса соялари бўйича ўлчаш чегаралари 2—720, анализ қилиш 
хатолиги ±0,15%.