Bo’lim boshlig’i N. I. Asqarov Kafedra mudiri Sh. A

3.3. Materiallarni payvandlash va qayta toblash 
Mikrolelektronikada 
keng 
qo’llash 
urfga 
aylanayotgan 
lazerli 
payvandlashni boshqa turdagi payvandlash bilan solishtirib ko’raylik. Lazer 
nurlari bilan payvandlash argon-elektr nurlari bilan payvandlashga nisbatan 
qayta ishlanayotgan material sirtiga energiyaning qo’proq to’planishini 
ta’minlaydi. Elektr nuri bilan payvandlashga nisbatan lazerli payvandlashni 
ishlatish ancha qulay: vakuumli sistema talab qilinmaydi va bu usulda 
payvandlashni “shaffof oyna” orqali amalga oshirish mumkin. Lazerli 
payvandlash turlicha materiallarni ham bir-biriga ulay oladi. Hosil bo’lgan 
choklar ham xuddi o’sha, ulangan metallardek puxta, chidamliligi bilan ajralib 
turadi. Bu payvandlash mikoelektronikada simlarni bir-biriga ulash kabi katta 
operatsiyalarda keng qo’llaniladi. Hozirgi paytda 1-10 kWt quvvatli lazerlar 
yordamida payvandlash usuli qo’llanilmoqda. 

---

73 
Mikrolelektronikadan 
tashqari, 
avtomatik 
lazerli 
payvandlash 
avtomobillarning kuzovini va kardan (avtomobilda va xususan mashinalarda 
oshiq–moshiqsimon mexanizm) devorlarini payvandlashda, titan va amominid 
varaqlarini, gazli simlarni ulashda ishlatiladi.
So’nggi yillarda, shuningdek, metall bo’lmagan materiallarni ham 
payvandlash rivojlanmoqda. Faraz qilaylik: elektron–nurli trubka ichidagi 
qandaydir sim uzilib kontakt buzildi. Shu qiyin joyni payvandlashda lazer 
nurlari qo’llaniladi (3.2–rasm). 
a) b) 
3.2-rasm. a) O’ta qiyin joylarni lazerli payvandlash; b) Vakuumli yoki ichi gaz 
bilan to’ldirilgan kameralarni shaffof materiallar orqali lazerli payvandlash [20]
Chunki, faqat lazergina vakuumli ballonning oynasidan o’ta olishi 
mumkin. Xuddi shu yerda, lazer nurlarining eng ahamiyatli uning eng qiyin 
joylarda hama payvandlash imkoniyatiga ega ekanligida ko’rinadi. Shu bilan 
bog’liq ravishda inert gazi bilan to’ldirilgan kameradagi u yoki bu 
mikroelektronika elementlarini ham payvandlash juda katta qiziqish uyg’otadi. 
Bu holda oksidlanish reaksiyasining oldi olinadi.
Keyingi yillarda ko’pgina mamlakatlarda lazerli qayta toblash usuli juda 
avj olib ketdi. U turli mikroelektron qurilmalarning asosi hisoblangan rezistorlar 
qarshiligini to’g’rilash, yarimo’tkazgich sirtini chiniqtirish kabi parametrlar 
vakuum pechlarida oddiy usulda qayta ishlangandan 2–3 marta ortadi. 
Lazerlarning mikroelektronikada qo’llanilishi haqida quyida to’xtalib o’tamiz. 

---

74 
Yarimo’tkazgich sirtni lazerli qayta toblash ayrim uncha katta bo’lmagan 
sohalarning mustahkamligini yanada oshirish maqsadida qo’llaniladi. Lazerdan 
foydalanish yarimo’tkazgich sirt qatlamini toblash, qayta ishlanayotgan detalni 
umumiy qizdirishsiz amalga oshirish imkoniyatini yaratadi, sirtqi va ichki 
qatlamni barobar toblantiradi, jarayonni tez amalga oshirish paytida 
yarimo’tkazgichni oksidlanishidan saqlaydi. Shunday qilib, lazerli toblash 
tanlangan maydon sirtiga ta’sir etishdir. 
Lazerli toblash avtomobil sanoatida dvigatel silindri (golovka) 
boshchasini, yetakchi klapanlar va taqsimlovchi vallarni mustahkamlashda 
ishlatiladi. 
Yarimo’tkazgich sirtning qattiqligini ta’minlash maqsadida ham lazerli 
legirlash 
(yarimo’tkazgichga 
boshqa 
modda 
qo’shib 
fizik-kimyoviy 
xususiyatlarini yaxshilash) qo’llaniladi. Legirlovchi prisadkalar kukun
ko’rinishida qayta ishlanadigan maydon sirtiga sepiladi. Lazer bilan nurlantirish 
jarayonida qizdirilgan kukun va material aralashib yupqa qatlamli modda paydo 
bo’ladi.
Keyingi yillarda termik qayta ishlashga oid yangi lazerli texnologik 
jarayonlar paydo bo’ldi. Shunday jarayonlardan biriga materialni shisha bilan 
qoplash jarayoni ham kiradi. Agar lazer bilan nurlantirilgan materialning ustki 
qismi tez sovutilsa, uning sirtida yupqa (shishasimon) amorfli qatlam paydo 
bo’ladi, u juda yuqori sifatli bo’lib, korroziyalarga bardoshliligi bilan ajralib 
turadi.