O’ZBEKISTON RESPUBLIKASI OLIY VA O’RTA MAXSUS TA’LIM
VAZIRLIGI
Z.M.BOBUR NOMIDAGI ANDIJON DAVLAT UNIVERSITETI
Magistratura bo’limi
Fizika kafedrasi
“TASDIQLAYMAN” “HIMOYAGA QO’YILDI”
Bo’lim boshlig’i N.I. Asqarov Kafedra mudiri Sh.A.
Ermatov
__________________________ _________________________
“____”____________2017 yil “____”___________2017 yil
Qo’lyozma huquqida
UDK ____________
“LAZERLARNING MIKROELEKTRONIKADA QO’LLANILISHI”
MAVZUSIDA
MAGISTRLIK DISSERTATSIYASI
Bajardi
: Gulsanamxon
Fazliddin qizi Karimova
“Lazer fizikasi” yo’nalishi magistranti
Ilmiy rahbar: X.M.Madaminov
fizika-matematika fanlari nomzodi, katta o’qituvchi
ANDIJON – 2017
2
MUNDARIJA
Kirish ………….. ……………………………………………………………… 3
I BOB. LAZER QURILMALARI HAQIDA UMUMIY MA’LUMOTLAR
1.1. Optik kvant generatorlari va ularning yaratilish tarixi …………..... 10
1.2. Optik kvant generatorlarining tavsifi .…………………………….. 23
1.3. Elektromagnit to‘lqin chiqarilishi va yutilishidagi kvant jarayonlar 28
1.4. Spektral chiziqlar kengligi va shakllari ………………………….... 35
Bob yuzasidan qisqacha hulosalar …………………………………….. 40
II BOB. MIKROELEKTRONIKADA QO’LLANILADIGAN
LAZERLAR-
NING TUZILISHI VA ISHLASH TAMOYILLARI …………........................
2.1. Uglerod ikki oksidli lazer…………………………………………. 43
2.2. Argon gazi asosidagi lazer ............................................................... 49
2.3. Yoqutli lazer …………………………………………………......... 51
2.4. Shisha asosli neodim lazerlar ........................................................
53
2.5. Ittiriy-alyuminiy granatli (IAG) lazerlar
…………………....................
56
2.6. Arsenid galliyli va arsenid galliy-alyuminiyli lazerlar..................... 58
2.7. Nanolazerlar .................................................................................... 61
Bob yuzasidan qisqacha hulosalar ……………………………............ 66
III BOB. LAZERLAR VA
ULARNING MIKROELEKTRONIKADA
QO’LLANILISHI
3.1. Lazerlarning mikroelektronikada qo’llanilishi haqida ................... 68
3.2. Materiallarni lazerli kesish va qizdirish ...........………….............. 69
3.3. Materiallarni lazerli payvandlash ………………...……………… 72
3.4. Materiallarni lazerli parmalash …………………........................... 74
3.5. Lazerlar yordamida yarimo’tkazgichlarga ishlov berish ...............
76
Bob yuzasidan qisqacha hulosalar ..............………………………….. 84
Umumiy xulosalar …..........…………………………………………..
86
Foydalanilgan adabiyotlar ro‘yxati ..........…………………………….. 88