Bo’lim boshlig’i N. I. Asqarov Kafedra mudiri Sh. A

1. Yarimo’tkazgich sirtini tozalash va rel’efini yaхshilash.
Lazer 
yordamida tozalashda yarimo’tkazgich sirtidagi iflosliklar ketkaziladi, ammo 
sirtning o’zi zararlanmaydi. Ishlov beriladigan sirtga yot atomlar kirmaydi, 

---

78 
vakuum sharoiti buzilmaydi. Lazer vakuum kamerasidan tashqarida bo’ladi, 
uning nuri shaffof deraza orqali kiritladi, bunda bir jarayonda bir necha amallar, 
masalan, tozalash, metallni yoki epitaksial pardani vakuumga o’tkazish, tok 
keltiruvchi yo’lchalar (tasmalar) hosil qilish va h.k. amallar bajariladi.
Tozalash uchun nurining diametri 3,5 mm bo’lgan yoqut (rubin) kristalli 
lazer ishlatiladi. Kremniy sirtida uglerod va kremniy dioksidi pardalarini 
kuydirib yuborish uchun har birida 2 J/sm
2
bo’lgan beshta ketma-ket impulslar 
energiyasi kifoya bo’ladi. Sirtni 16 ns davomiylikni ikki-uch (2 J/sm
2
) impuls 
bilan nurlantirilsa, sirtning monokristalligi tiklanadi ( u argon ionlari kirishidan 
buzilgan) va bir vaqtda argon ionlaridan tozalaydi.
Metall pardalari sirtini tekislash uchun ularni 1 mks davomida lazer 
nurlanishi bilan qizdirish kifoya. Bu tekislash jarayonini vakuumda, havoda yoki 
inert gaz muhitida o’tkazish mumkin. Kremniyning epitaksial qatlamlari 
sirtidagi o’tkir chiziqlarni bartaraf vilish uchun lazer ishlovdan foydalaniladi, 
agar kremniyni (0,2-0,8 J/sm
2
) energiyali impulslar bilan nurlantirilsa, mazkur 
nuqsonlar (suyulib) to’la yo’q bo’lib ketadi.
2. Yarimo’tkazgichga kirishmalar kiritish va ularni qayta taqsimlash 
usullari.
Sirtiy qatlamlardan diffuziyalash usuli.
Bu usul sirtiy manbadan 
diffuziyalash usuliga o’хshaydi, ammo bunda legirlovchi kirishmani lazer 
nurlanishi qizdiriladi. Sirt qatlami suyuladi va kirishma suyulgan modda ichiga 
diffuziyalanib kiradi. Ana shu usul bilan kremniyga donorlar va aktseptorlar 
(bor, fosfor, surma va b.) kiritiladi.
Yupqa yarimo’tkazgichli plastinalar sirtiga omik kontaktlar o’tkazish 
хuddi shu usulda amalga oshiriladi. 100 mm diametrli va 0,2 mm qalinlikdagi 
plastinalarni lazer bilan qizdirish termik kuchlanishlarga bog’liq buzilishlar 
qoldiradi. Oddiy teхnologiyada esa ko’p kontaktlar shunday kuchlanishlar 
sababidan buzilib ketadi.