Oliy va o’rta maxsus ta’lim vazirligi z. M. Bobur nomidagi andijon davlat universiteti magistratura bo’limi Fizika kafedrasi

Tadqiqot ob’ekti va predmeti. Tadqiqot ob’ekti sifatida 1,5×10¹⁶ sm^-3 va 3,67×10¹⁷ sm^-3 konsentratsiyali bor va qalay bilan legirlangan 100 mm o‘lchamli dislokatsiyasiz kremniy va germaniy tanlandi.

Tadqiqot predmeti sifatida Si, Ge elemetar yarimo’tkazgichlari hamda Ge/Si qattiq qorishmasi va ularga lazer nurlarining ta’siri.

Tadqiqotning ilmiy yangiligi:

1. 
   Eksperimental tarzda lazer nurining ta’sirida yupqa kremniy qatlami elektr o‘tkazuvchanligining o‘zgarishi o‘rganildi. Lazer nuri quvvatining 60-70 Vt diapazonda o‘zgarishi orqali yupqa kremniy qatlamining elektrofizik parametrlarini anchagina yaxshilash mumkinligi aniqlandi.
   
2. 
   Morfologik tadqiqotlar asosida namunalar izotermik qizdirilganda kremniy kristalida mavjud termik zo‘riqishlar tufayli dislokatsiyalarning paydo bo‘lishi o’rganildi.
   
3. 
   Lazer nuri ta’sirida kremniy plastinasi sirtidagi kraterlar xududida dislokatsiyalarning taqsimlanish tasviri, issiqlik uzatilishi jarayoni va temperatura kuchlanishi modellashtirish orqali o‘rganildi. Eksperimental natijalarni va qurilgan model bilan taqqoslash orqali lazer nurining turli quvvatlari uchun issiqlik oqimining qiymatlari olindi.
   
4. 
   Yarimo'tkazgichlarda nanokonus hosil bo'lish mexanizmi ikki bosqich bilan tavsiflandi: birinchi bosqich elementar yarimo'tkazgichlar uchun n-p o’tishni yoki SiGe qattiq eritmasi uchun Ge/Si geterotuzilmasini shakllantirishi; ikkinchi bosqich, siqilgan Ge qatlamining Si ustidagi mexanik plastik deformatsiyasi va elementar yarimo'tkazgichning siqilgan n-tipli yuqori qatlami natijasida nanokonuslarning paydo bo'lishi.