Fizika fakulteti fizika kafedrasi


Kremniy uchun travitellar



Download 4,09 Mb.
bet28/78
Sana21.04.2022
Hajmi4,09 Mb.
#571245
1   ...   24   25   26   27   28   29   30   31   ...   78
Bog'liq
2 5194986033703293314

Kremniy uchun travitellar

To’g’ri



№uramalari’, ml

eslatma

Kerakli vaqt

SR-X

SR-NA
vaqt traviteli


DESH traviteli



HNO2-2, HF-1

H NO2-5, HF-2,


SH2 COOH-2

HNO2-2, HF-1


HNO2-2. HF-1,
CH2 COO H-X



Kimyoviy polirovka,
p-n o’tishni kimyoviy polirovka o’tish chegarasini aniqlash kimyoviy polirovka [222]
Barcha tekisliklar bo’yicha sekin polirovka

1-2 min
2-3 min


15 s

1 soat
-16 soat


AIII VV yarimo’tkazgichli birikmalar uchun polirovkalovchi travitel bo’lib, brom-metanol travitel bo’ladi. F Br2 metanolda (metil spirtinde) SH2OH SiC uchun travitel bo’lib, KON va KNO2 aralashmasi 4:1 nisbatda va 600-6500S da nikeldan yoki platinadan ishlanganda 2-5 daqiqa yurgiziladi.


Yuzani elektrokimyoviy qayta ishlash.
r-n o’tishlarning chegarasini, qo’shimchalarning taqsimlanishining holatini aniqlash, elektrokimyoviy polirovka yasash, elektrolitik kesish, local pofiloravanie yasash, juda ingichka qatlamlarni olish, galvanic yo’l bilan moddalarni o’tkazish uchun qo’llaniladi.
Bug’li gazli travlenie. Kremniyni, arsenid va fosfid galliyni va boshqa yarimo’tkazgichlarni bug’li gazli aralashmada travlenie yasash uchun qo’llaniladi. Buning uchun HCl-H2 va H2O-H2 10000 K qizdirib travlenie yasaladi. HSl qo’llanganda GaSi va As2Cl2, H2O qo’llanganda Ga2O va As2O2 yoki As4 bo’linib chiqib, ular juda tez uchin ketadi.
Ionli-plazmali travlenie. Inert gazlar yoki aktiv gazlar muhitida kichik temperaturali plazma ta’sirida, qattiq jism yuzasidan materialni olib tashlashga aytiladi. Ionli-plazmali travlenie jarayonlarini klassifikatsiyalashda quyidagi sxemadan foydalansak bo’ladi:



Ionli plazmali travlenie travlenieравление





Ionli

Ionli kimyoviy

Плазма химиялық



Hajmiy plazma

Ionli nurli



Reaktiv ionli plazma

Reaktiv ionli nurli

Plazmali

radikal

Ионлық д1стелерди фокуслау ямаса фокусламау

Көлемлик зарядларды компенсациялау ямаса компенсацияламау



. Ionli travlenie. Bu jarayonda yuza qatlamini olib tashlash uchun inert gazlar
ionlarining kinetic energiyasi qo’llaniladi.
. Ionli kimyoviy travlenie vaqtida yuza qatlamni olib tashlash uchun kimyoviy
aktiv gazlar ionlarining kinetic energiyasi, shuningdek material atomlarining
yoki molekulalarining kimyoviy energiyasi qo’llaniladi.
. Plazma-kimyoviy travlenie. Bu vaqtda yuza qatlamni olish uchun
ionlarning va radikallarning (aktiv gazlarning) va material atomlarining kimyoviy
o’zaro ta’siri qo’llaniladi.



Download 4,09 Mb.

Do'stlaringiz bilan baham:
1   ...   24   25   26   27   28   29   30   31   ...   78




Ma'lumotlar bazasi mualliflik huquqi bilan himoyalangan ©hozir.org 2024
ma'muriyatiga murojaat qiling

kiriting | ro'yxatdan o'tish
    Bosh sahifa
юртда тантана
Боғда битган
Бугун юртда
Эшитганлар жилманглар
Эшитмадим деманглар
битган бодомлар
Yangiariq tumani
qitish marakazi
Raqamli texnologiyalar
ilishida muhokamadan
tasdiqqa tavsiya
tavsiya etilgan
iqtisodiyot kafedrasi
steiermarkischen landesregierung
asarlaringizni yuboring
o'zingizning asarlaringizni
Iltimos faqat
faqat o'zingizning
steierm rkischen
landesregierung fachabteilung
rkischen landesregierung
hamshira loyihasi
loyihasi mavsum
faolyatining oqibatlari
asosiy adabiyotlar
fakulteti ahborot
ahborot havfsizligi
havfsizligi kafedrasi
fanidan bo’yicha
fakulteti iqtisodiyot
boshqaruv fakulteti
chiqarishda boshqaruv
ishlab chiqarishda
iqtisodiyot fakultet
multiservis tarmoqlari
fanidan asosiy
Uzbek fanidan
mavzulari potok
asosidagi multiservis
'aliyyil a'ziym
billahil 'aliyyil
illaa billahil
quvvata illaa
falah' deganida
Kompyuter savodxonligi
bo’yicha mustaqil
'alal falah'
Hayya 'alal
'alas soloh
Hayya 'alas
mavsum boyicha


yuklab olish