Fizika fakulteti fizika kafedrasi

11-seminar ishi.
Yrimo’tkazgichlar yuzasi sifatini tekshirish va himoya qilish usullari. O’ta o’tkazuvchanlikning amaliyotda qo’llanilishi.

1. 
   Travitellar, ularning tarkibi, ishlash rejalari va qo’llanish xossalari.
   
2. 
   Germaniy va kremniy uchun travitellar.
   
3. 
   Paragazli va ionli-plazmali travlenie. Elektrokimyoviy qayta ishlash.
   

Tayanch so’zlar: kimyoviy jarayonlar, travitellar, germaniy, kremniy, A^III V⁶, SiC, elektrokimyoviy qayta ishlash, paragaz, ion-plazma.
Kimyoviy jarayonlar yarimo’tkazgichlarda texnologik siklning deyarli barcha bo’limida qo’llaniladi. Yarimo’tkazgichlarning yuzalarini tozalashdagi kimyoviy jarayonlarning ko’pchiligi shuning ichida yuzaning strukturasini aniqlash yoki defektlarni aniqlash, materialni yuzadan olish kimyoviy travleniega kiradi. Kimyoviy travlenie modda bilan o’zaro ta’sirlashuviga nisbatan bo’ladigan erish reaksiyasi hisoblanadi, ular quyidagi tiplarga bo’liadi:

1. 
   Molekular erish. Bundan farqi shundan iboratki, moddaning dastlabki holatidagi va erishidagi kimyoviy formulasi bir xil bo’ladi.
   
2. 
   Ionli erish. Bunda moddaning dastlabki va erishdan keying holati bir xil bo’lmaydi.
   
3. 
   Reaktiv erish. Erish jarayoni erigan modda bilan erituvchining o’zaro kimyoviy ta’siri natijasida bo’ladi, shu vaqtda kuchli issiqlik effektlari paydo bo’lib, u molecular yoki ionli erishlarga nisbatan ancha kuchliroq bo’ladi. Travlenie jarayoni asosan ө stadiyadan turadi.
   

1. Travitel molekulasining (ionining) erituvchi hajmidan yarimo’tkazgich yuzasiga o’tishi.
2. Yarimo’tkazgich yuzasiga travitel molekulasining yutilishi.
3. Jarayonning kinetic stadiyasi ya’ni adsorbsiyalangan molekulaning (travitelning) yarimo’tkazgich bilan kimyoviy kimyoviy ta’siri natijasida yarimo’tkazgich atomning kimyoviy bog’lanishi uzilishi.
4. Reaksiya mahsulotlarining desorbsiyasi.
5. Reaksiya mahsulotining travitelga o’tishi.