Fizika fakulteti fizika kafedrasi

Kremniy uchun travitellar

To’g’ri	№uramalari’, ml	eslatma	Kerakli vaqt
SR-X SR-NA vaqt traviteli DESH traviteli	HNO2-2, HF-1 H NO2-5, HF-2, SH2 COOH-2 HNO2-2, HF-1 HNO2-2. HF-1, CH2 COO H-X	Kimyoviy polirovka, p-n o’tishni kimyoviy polirovka o’tish chegarasini aniqlash kimyoviy polirovka [222] Barcha tekisliklar bo’yicha sekin polirovka	1-2 min 2-3 min 15 s 1 soat -16 soat

A^III V^V yarimo’tkazgichli birikmalar uchun polirovkalovchi travitel bo’lib, brom-metanol travitel bo’ladi. F Br₂ metanolda (metil spirtinde) SH₂OH SiC uchun travitel bo’lib, KON va KNO₂ aralashmasi 4:1 nisbatda va 600-650⁰S da nikeldan yoki platinadan ishlanganda 2-5 daqiqa yurgiziladi.

Yuzani elektrokimyoviy qayta ishlash.
r-n o’tishlarning chegarasini, qo’shimchalarning taqsimlanishining holatini aniqlash, elektrokimyoviy polirovka yasash, elektrolitik kesish, local pofiloravanie yasash, juda ingichka qatlamlarni olish, galvanic yo’l bilan moddalarni o’tkazish uchun qo’llaniladi.
Bug’li gazli travlenie. Kremniyni, arsenid va fosfid galliyni va boshqa yarimo’tkazgichlarni bug’li gazli aralashmada travlenie yasash uchun qo’llaniladi. Buning uchun HCl-H₂ va H₂O-H₂ 1000⁰ K qizdirib travlenie yasaladi. HSl qo’llanganda GaSi va As₂Cl₂, H₂O qo’llanganda Ga₂O va As₂O₂ yoki As₄ bo’linib chiqib, ular juda tez uchin ketadi.
Ionli-plazmali travlenie. Inert gazlar yoki aktiv gazlar muhitida kichik temperaturali plazma ta’sirida, qattiq jism yuzasidan materialni olib tashlashga aytiladi. Ionli-plazmali travlenie jarayonlarini klassifikatsiyalashda quyidagi sxemadan foydalansak bo’ladi:



Ionli plazmali travlenie travlenieравление





Ionli

Ionli kimyoviy

Плазма химиялық



Hajmiy plazma

Ionli nurli



Reaktiv ionli plazma

Reaktiv ionli nurli

Plazmali

radikal

Ионлық д1стелерди фокуслау ямаса фокусламау

Көлемлик зарядларды компенсациялау ямаса компенсацияламау



. Ionli travlenie. Bu jarayonda yuza qatlamini olib tashlash uchun inert gazlar
ionlarining kinetic energiyasi qo’llaniladi.
. Ionli kimyoviy travlenie vaqtida yuza qatlamni olib tashlash uchun kimyoviy
aktiv gazlar ionlarining kinetic energiyasi, shuningdek material atomlarining
yoki molekulalarining kimyoviy energiyasi qo’llaniladi.
. Plazma-kimyoviy travlenie. Bu vaqtda yuza qatlamni olish uchun
ionlarning va radikallarning (aktiv gazlarning) va material atomlarining kimyoviy
o’zaro ta’siri qo’llaniladi.