Академия наук республики узбекистан

Муаммонинг ўрганилганлик даражаси.
Silicon Solar Inc. (АҚШ) 
олимлари томонидан триэтоксисиландан KF/Al
2
O
3
катализаторларида 
моносилан олиш усули яратилган
(WO042445A2, 2008). Бунда 
триэтоксисилан конверсияси 100 фоизга яқин кўрсатгичга эга бўлган. Аммо 
триэтоксисилан синтези масаласи ечимсиз қолган. Showa Denko K.K. 
(Япония)
томонидан олиб борилган тадқиқотларда хам триалкоксисиланлар 
конверсияси бўйича максимал юқори натижага эришилди (JP2008281206, 
US20110200513), аммо натижалар фақат триметоксисиланга нисбатан 
олинган. 2000
-
2010 йиллар оралиғида Momentive Performance Materials Inc. 
(АҚШ) компанияси томонидан триметоксисилан синтези
бўйича бир неча 
технологиялар
патентланган. Бу технологиялар (US7429672, US7339068, 
US7652164) Cu
2
O, CuCN и Cu(OH)
2
катализаторлари
ёрдамида амалга 
оширилган, бироқ
бу технологиялар барчаси циклик
-
узликсиз режимда 
ишлатилган. Бундай режим моҳиятига кўра чала узликсиз режим бўлиб, 
бунда реагентларни юкланиши даврий равишда, синтез реакцияси эса 
индукцион даврдан сўнг юкланувчи
реагентлар миқдори критик даражагача 
камайгани қадар давом этади ва натижада реагентлар исрофланишига, 
энергия сарфини ошишига олиб келади. Шуларни назарда олганда, 
поликристалл кремний олишнинг моносиланли юқори самарали 
технологиясини яратиш долзарб масала бўлиб қолмоқда.
Сиртдаги жараёнларни фаолаштириш учун, хусусан кремний асосидаги 
структураларни шакллантириш учун ионлар анчагина кенг
қўлланилиб 
келиняпти,
жумладан, Штутгарт Университети олимлар гуруҳларининг қатор 
ишларида ўсиш жараёнларини стимуллаштириш ва бошқариш учун 
молекуляр нурли эпитаксияда (Э.Каспер ва бошқалар) ва электрон нурли 
физикавий буғдан ўстиришда (К.Майле, А.Лютович) ионлардан унумли 
фойдаланилган,
ионларнинг қаттиқ жисм билан таъсири асосида 
материалларнинг хоссаларини тубдан ўзгартиришга олиб келувчи радиацион 
эффектларни ўрганишда К.Нордлунд ва Ф.Джурабековалар (Хельсинки, 
Финландия) фаол иш олиб бормоқдалар
.
Шунингдек, ионли стумуллашган усуллар Нижний Новгород давлат 
университети (Россия) олимлари
гуруҳи томонидан ҳам мувоффақиятли 
ишланиб ва қўлланиб келинмоқда. Молекуляр нурли эпитаксия усулида 
киришмаларнинг кенг спектри билан легирланган кремний қатламларини 
ионлар билан нурлантирилганда содир бўлувчи физик жараёнларни тадқиқ 
қилиш, ҳамда паст энергияли ионлар билан нурлантириш шароитида 
кремний ва кремний
-
германий қаттиқ
қотишмалари қатламларини 
киришмали легирлашнинг физик асосларини яратиш ишлари В.Г. Шенгуров 
гуруҳи томонидан ўтказилган. А.И.Машин
кремний
кристаллини ўта юқори 
дозали инерт газ ионлари билан нурлатиш кремнийнинг янги аллотроп 
тузилишини шаклланишига олиб келишини аниқлаган. Ионлар билан 
нурлантиришда аморф кремний матрицасида кремний нанокиришмаларидан 
ташкил топган наноструктурлашган тизимни шакллантириш жараёнлари 
8 

---

С.А.Трушин томонидан фаол ўрганилган. Аксарият ҳолларда тадқиқотчилар 
ўсиш сирти жараёнларига таъсир ўтказиш учун махсус ион манъбаларидан 
фойдаланилган, хусусан, А.В.Двуреченский (Новосибирск) гуруҳи 
томонидан молекуляр нурли эпитаксия қурилмасида паст энергияли 
импульсли ион нурланиши остида кремний сиртида Ge нанооролчаларининг 
ўз
-
ўзини ташкил этиши ўрганилганда алоҳида инерт газ ионлари 
манъбасидан фойдаланилган. Нанооролчалар зичлигини сезиларли ошириш 
борасидаги эришилган ютуқларга қарамай, кўпгина таклиф қилинган 
усуллардан фойдаланиш мураккаб ион манъбалар тизимлари киритишни 
талаб қилади, аксарият ҳолларда стандарт қурилмалар, айниқса,
молекуляр 
нурли эпитаксия қурилмалари бундай тизимлар киритишга мослашмаган. 
Шунинг сабабли,
ионли стимуллашган усулларни янада ривожлантириш, 
жумладан, электрон
-
нурли буғлатишда ҳосил бўлувчи ионлардан 
фойдаланиб,
сирт жараёнлари фаоллаштириш усулларини яратиш долзарб
-
лиги сақланиб қолинган.