Академия наук республики узбекистан

Маъруза шаклидаги
диссертация мавзусининг диссертация 
бажарилаётган илмий
-
тадқиқот муассасасининг илмий ишлари билан 
боғлиқлиги.
Диссертация тадқиқоти
Ион плазма ва лазер технологиялари 
институти илмий
-
тадқиқот ишлари режасининг
ФА
-
А15
-
Ф126 «Поликрис
-
талл кремний олишнинг технология ва қурилмаларини яратиш» (2009
-
2011), 
A4-
ФА
-
Ф172 «Моносиландан кремнийнинг юпқа қатламлари, гранулалари ва 
хажмдор кристалларини олиш технологиясини яратиш» (2012
-
2014),
ФА
-
А4
-
Ф057 «Поликристалл кремний ишлаб чиқаришнинг технологик схемасини 
яратиш» (2015
-
2017)
ДИТД лойиҳалари,
ФА
-
Ф2
-
Ф097
«Органик ва 
ноорганик материалларнинг кристалланиш
марказларини ва нанооролча
-
ларининг ўсиш жараёнларини тадқиқ қилиш»
(2007
-
2011), А3
-
ФА
-
Ф158
«Кичик ўлчамли нотекис киритмали органик ва ноорганик грануллашган 
ярим ўтказгичлар асосидаги системаларда энергия ўзгартириш жараёнлари» 
(2012
-
2016)
ФТД лойиҳалари,
ҳамда Ўзбекистон ва Германия хукуматлари
илмий
-
техникавий ҳамкорлиги тўғрисидаги келишуви доирасида
Штутгарт 
Университети
билан бажарилган USB001/99 «Молекулр нурли эпитаксияда 
ионлардан фойдаланиш» (1999
-
2001), UZB02/002 «Кимёвий буғдан ўстириш 
ва ионли фаоллаштирилган физикавий буғдан ўстириш усуллари билан 
армирланган углерод тагликларида ҳимоявий қатламлар шакллантириш» 
(2003
-
2005), UZB 01/007 «Ўта тез ишловчи
майдон транзисторлари учун 
мўлжалланган 
SiGe/Si
гетероструктурадаги зўриқишлар релаксациясини 
бевосита ион бомбардимони билан бошқарув» (2007
-2009
)
мавзусидаги 
лойиҳалар
доирасида бажарилган
.