Академия наук республики узбекистан

Тадқиқотнинг мақсади
поликристалл кремний олиш моносиланли 
технологияси, ҳамда
кремний структураларини яратишнинг ионли 
стимуллашган усулларини ишлаб чиқишдан иборат
. 
Тадқиқот вазифалари
:
металлургик кремний ва спиртларнинг бевосита реакцияси индукцион 
даврини йуқотиш ёки минималлаштириш йўли билан алкоксисиланлар 
синтезининг самарали технологиясини яратиш;
9 

---

алкоксисиланлар синтезида реакция муҳитини доимий фаоллантириш 
омилларини излаш ва реакция зонасида ёнбош реакциялар учун катализатор 
бўлиши мумкин бўлган нокерак киришмаларни йиғилишини олдини олиш;
маҳаллий материаллар асосида триэтоксисилан диспропорцияси жара
-
ёни учун фаол катализатор тайёрлаш усулини яратиш;
поликристалл кремний олишнинг алкоксисилан жараёни асосидаги 
моносиланли технологиясини яратиш;
поликристалл кремний олишнинг
моносиланли технологиясини амалга 
ошириш учун экспериментал қурилма яратиш;
ўсиш сиртидаги жараёнларни назорат килиш ва бошқаришда электрон 
нурли буғлатишда ҳосил қилинган ионлардан фойдаланиш имконини 
берувчи зарядланган заррачалар аралаш оқимини ажратиш ва ўлчаш усулини 
яратиш;
кремний қатламларини ўсиш давомидаги ионлар билан нурлантириш 
шароитида 
легирлаш жараёнларини ўрганиш;
кремний ионлари ёрдамида ўта юпқа кремний
-
германий гетеро
-
структураларидаги механик зўриқишларни бошқариш имкониятларини 
тадқиқ қилиш;
молекуляр нурли эпитаксияда ионлардан фойдаланиб,
ўта зич ва ўта 
кичик ўлчамли монокристалл нанооролчалар ҳосил қилиш жараёнларини 
ўрганиш, ҳамда нанооролчаларнинг максимал зичлиги ва минимал ўлчамига 
эришиш учун оптимал шароитларни аниқлаш;
вакуумда ионли стимуллашган усулда олинган кремнийнинг қатламли 
p-n
структураларнинг термовольтаик хоссаларини тадқиқ қилиш;
ионли стимуллашган усулда иссиқлик барьер қатламларини мослаш
-
тириш учун оралиқ қатламларини яратиш имкониятларини ўрганиш.