Академия наук республики узбекистан

---

ФИЗИКА
-
ТЕХНИКА ИНСТИТУТИ ВА САМАРҚАНД ДАВЛАТ 
УНИВЕРСИТЕТИ ҲУЗУРИДАГИ ФАН ДОКТОРИ ИЛМИЙ 
ДАРАЖАСИНИ БЕРУВЧИ 16.07.2013.FM/T.12.01 РАҚАМЛИ 
ИЛМИЙ КЕНГАШ 
ТОШКЕНТ ДАВЛАТ ТЕХНИКА УНИВЕРСИТЕТИ
АШУРОВ ХАТАМ БАХРОНОВИЧ 
ПОЛИКРИСТАЛЛ КРЕМНИЙ ОЛИШНИНГ МОНОСИЛАНЛИ 
ТЕХНОЛОГИЯСИ ВА КРЕМНИЙ СТРУКТУРАЛАРИНИ 
ЯРАТИШНИНГ ИОНЛИ СТИМУЛЛАШГАН УСУЛЛАРИ 
 
01.04.04 
–
 Физик электроника 
(техника фанлари) 
 
 
 
 
 
 
 
 
МАЪРУЗА ШАКЛИДАГИ ДОКТОРЛИК ДИССЕРТАЦИЯСИ 
Тошкент 
–
 2016

---

УДК
:
 621.315.5
9
2.2 
 
Маъруза шаклидаги докторлик диссертацияси мундарижаси 
Оглавление докторской диссертации в виде научного доклада 
Content of the doctoral dissertation as a scientific report 
Ашуров Хатам Бахронович
Поликристалл кремний олишнинг моносиланли технологияси ва 
кремний структураларини яратишнинг ионли стимуллашган 
усуллари
…………………………………. 
3 
Ашуров Хатам Бахронович
Моносилановая технология получения поликристаллического 
кремния и ионно
-
стимулированные методы создания кремниевых 
структур
........................................... 
47 
Ashurov Khatam Bakhronovich 
A monosilane technology of polysilicon production and ion-stimulated 
methods for creation of silicon structures ………………………………… 
91 
Эълон қилинган ишлар рўйхати
Список опубликованных работ
List of published works .…………………………………………………… 
130 
2 

---