I bob. Ionli implantasiya usuli

1II BOB. IONLI IMPLANTATSIYA QILINGAN PLYONKALARNING SIRT YUZASINI TAҲLIL QILISh.

3.1.Oje-yelektron spektroskopiyasi usulida sifat tahlili.

Sifatiy va miqdoriy taxlil. Qattiq jism sirtini sifatiy taxlilining maqsadi YeOS usuli yordamida yelementning mavjudligini aniqlash, uning matrisa komponentasi bilan kimyoviy bog’i haqida ma’lumot berishi va uning taxminiy konsentrasiyasini berishi. YeOS usulida miqdori taxlil sirtdagi yelementlarning konsentrasiyasini aniqlashda qo’llaniladi.

Sifatiy taxlil. Oje – spektrlarini yozgandan so’ng qayd qilingan spektrning maksimumlari qaysi kimyoviy yelementga mos kelishini aniqlash kerak bo’ladi. Bunday aniqlashda Oje – o’tishlar yenergiyasi qo’llanmalardan va Oje – spektrlarning yetalon atlaslaridan foydalaniladi.

Oje – spektrlarni taxlil va qayta ishlash jarayonida tajriba ma’lumotlarini raqamli taxlilning quyidagi usullaridan foydalaniladi: fonni chiqarib tashash, shovqinni filtirlash, N(Ye) spektrni differensiallash, tekislash, o’rtalash, yaqin joylashgan cho’qqilarni ajratish va Gauss funksiya chiziqlari shaklini approksimasiyalash. Oje – spektrlarni taxlil qilishda qo’llaniladigan dasturiy vositalar raqamli taxlilning asosiy usullarini o’z ichiga oladi. Integral spetrlarda N(Ye) chiziqlarni yoritish uchun Gauss funksiyasidan foydalanilganda Ye_m maksimal yenergiya sifatida keltirilgan gaussian maksimumini o’rni tushuniladi. Cho’qqi kengligini maksimumdagi I/2 satxdagi gaussianning to’liq kengligi sifatida Ye=2 baholanadi. Chiziqning intensivligi sifatida amplituda A yoki integral intensivlik I olinadi.

3.1.1-Rasm.Molibden monokristalining oje-spektri.

Differensial spektrlarda Em kattalik deyildagan yenergiya shkalasida minimumning spektral joylashishi tushunilsa, cho’qqi kengligi yesa maksimum va minimum orasidagi masofa tushuniladi. Intensivlik (amplituda) maksimum va minimum qiymatlarning farqi bo’lsa, integral intensivlik yesa amplitudani kenglikka ko’paytmasi bo’ladi. Olingan spektrlarni cho’qqilarning joylashuvi bo’yicha matematik qayta ishlash natijasida sirtdagi yelementlarni sifatiy aniqlash mumkin.