I bob. Ionli implantasiya usuli

2.4.Ikkilamchi ionlarning mass-spektrometri qurilmasi

Jism ionlar bilan to`pga tutilganda undan neytral atomlar,bir va bir necha marta ionlashgan musbat va manfiy ionlar hamda har xil klasterlar uchib chiqishi mumkin.yuzaning holatiga qarab bitta jismhihg o`zi uchun uchub chiqayotgan ionlarning soni neytral atomlarga nisbatan o`nlab,yuzlab marta o`zgarishi mumkin.

Jism tarkibini undan birlamchi ionlar ta`sirida uchib chiqayotgan ikkilamchi ionlarning massasini tahlil qilish uo`li bilan o`rganish ikkilamchi ionlarning massasini tahlil qilish yo`li bilan o`rganish ikkilamchi ionlarning mass-spektroskopiyasi deyiladi.IIMS qurilmasi o`ta yuqori vakkumli asbob ichiga joylashtirilgan to`rtta asosiy qismlardan iborat bo`ladi.

2.4.1-rasm.Ikkilamchi ionlar mass-spektrometrining chizmasi:

1-birlamchi ionlarning to`pi;2-nison;3-elektrostatik analizator;4-massa-analizator.