I bob. Ionli implantasiya usuli

3.4.Ikkilamchi ionlar mass spektroskopiyasi usulida miqdoriy tahlil usuli.

Miqdoriy tahlil usuli

Miqdoriy tahlilda ikki usuldan foydalaniladi. Birinchisida tarkibi bo’yicha tekshirilayotgan namunaga yaqin bo’lgan, hamda tahlil qilinayotgan yelementning ma’lum konsentrasiyasiga yega bo’lgan standart olinadi. Bir xil sharoitda yetalon va namunaning mass – spektrlari yoziladi, so’ngra yesa tekshirilayotgan yelementlarga mos keluvchi cho’qqilar nisbati aniqlanadi. Bu nisbatlar namuna va yetalondagi konsentrasiyalarga nisbatiga teng. Ikkinchi usulda tarkib bevosita namuna mass – spektri bo’yicha amalga oshiriladi. Spektrdagi barcha cho’qqi tokini qo’shib chiqqanda namunadagi barcha yelementning yemissiya toki olinadi va umumiy konsentrasiyasi – 100% to’g’ri keladi. Ҳar bir cho’qqi konsentrasiya ulushiga to’g’ri keladi. Ionizasiya koyeffisiyenti qanday o’zgarishini aniq aytish mumkin yemasligi uchun aniq bir sharoitda termodinamik modeldan foydalanishadi. Unda T_SC haroratni plazma harorati sifatida yemas, balki changlanuvchi markazning yelektron harorati sifatida qarash taklif qilinadi va ionlashish koyeffisiyenti, mazkur harorat, chiqish ishi  va ionlash yenergiyasiga bog’liqligini yorituvchi formuladan foydalaniladi. Ҳisoblashlarda 1yeV=11600 K deb olinadi. Bu holda ionlashish koyeffisiyenti

, (5)

bu yerda va haroratga bog’liq bo’lgan holatlar bo’yicha yig’indisi. Agarda nishon bir jinsli qattiq qorishma bo’lsa, u holda  va T_SC nishonning barcha yelementlari uchun bir xil deyish mumkin.U holda

, (6)

bu yerda va - konsentrasiyasi S₁ va S₂ bo’lgan ikki yelementlar uchun mass – spektrda o’lchangan ionlar tok (cho’qqi balandligi);N⁺, N - ion va neytral atomlarning konsentrasiyasi.

Agarda bitta yelementning konsentrasiyasi ma’lum bo’lsa, masalan, asosniki, u holda boshqa yelementning konsentrasiyasi

(7)

ifoda bo’yicha aniqlanadi.

Ҳolatlar bo’yichat va yig’indi harorat – funksiya bo’lsada, biroq / nisbat deyarli haroratga bog’liq bo’lmaydi va ma’lumotlarni qayta ishlashda T=5100K uchun hisoblangan kattaliklar qiymati ishlatiladi. Ionlashish yenergiyasi

(8)

ifoda bilan aniqlanadi. Bu yerda 3,6/Zc – aks tasvir kuchi ta’siri bilan bog’liq bo’lgan ionlashlashish potensialining o’zgarishi.

Bitta nishondagi yelementlar uchun (7) ifodani quyidagi ko’rinishda yozish mumkin

, (9)

bu yerda – K mazkur ion bombardimon qilish sharoiti uchun doimiy kattalik. Ma’lum tarkibli namunaning ikkilamchi ionlari mass – spektri ni ionlashish Ye yenergiyasiga bog’liqligini qurib, og’ma bo’yicha changlash markazidagi yelektronlar harorati kattaligini aniqlash mumkin. Yuqorida yoritilgan ikkilamchi ionlar yemissiya mass – spektrining mikdoriy usulning mushohadasi yelementlarning konsentrasiyasini yetalon yoki standarsiz aniqlash mumkin