Fotoenergetikada nanostrukturali yarimo‘tkazgich materiallar II xalqaro ilmiy anjumani

ПОЛУЧЕНИЕ ТОПОЛОГИЧЕСКИХ СТРУКТУР С 
ИСПОЛЬЗОВАНИЕМ МАСОК 
 
А.И. Камардин
1
, Б.Д. Игамов
1
, Ж.Б. Хужаниёзов
2
, С.Т. Абраева
2
 
1
Институт ионно-плазменных и лазерных технологий АН РУз 
2
Ташкентский государственный технический университет 
Создание топологического рисунка за счет литографических обработок 
[1-5] в ряде случаев оказывается невозможным или нецелесообразным. В 
частности при размерах топологического рисунка 10-50 мм с размерами 
отдельных зон порядка 200-500 мкм применение фотолитографической 
обработки нецелесообразно. Большие размеры обрабатываемых изделий 
требуют больших расходов фоточувствительных лаков, имеющих высокую 

---

Fotoenergetikada nanostrukturali yarimo‘tkazgich materiallar

II xalqaro ilmiy anjumani 
 
19-20 noyabr 2021 yil 
163 
стоимость. Кроме того, при химическом травлении материалов в кислотных 
растворах может оказаться, что травитель для второго слоя материала 
воздействует на материал первого слоя и происходит разрушение 
топологического рисунка. Так, например, если первым слоем является 
силицид марганца, а второй слой, образующий контакты, состоит из никеля 
или меди, оба эти слоя разрушает азотная кислота при проведении травления. 
Для формирования 2-3 слойных структур может быть успешно использована 
технология накладных масок, механически совмещаемых друг с другом на 
соответствующей оснастке. Накладные маски могут быть изготовлены 
методом химического фрезерования или с использованием лазерной абляции. 
Целесообразно для масок использовать тонкие (толщина 150-300 мкм) 
полосы металлов. Измерения показывают, что при глубоком травлении 
образующийся радиус округления прямых углов может составлять до 40% от 
толщины обрабатываемого материала (полосы). Минимальный диаметр 
образующегося сквозного отверстия составляет примерно 1,0-1,3 от толщины 
полосы металла. Радиус округления вертикальной стенки равен примерно 
толщине полосы металла. Точность химического фрезерования обычно 
составляет 50-100 мкм. Минимальная окончательная толщина полосы 
металла после травления может составлять 40-50 мкм, поэтому химическим 
фрезерованием можно обрабатывать детали с очень тонкими перемычками 
без коробления. 
На рисунке 1 представлена топология сквозного встречного травления 
металлических полос (прямоугольная заготовка) для получения накладных 
масок и фотографии масок, полученных химическим фрезерованием . Размер 
масок может составлять до 100х100 мм и более, однако плотный прижим 
таких масок к обрабатываемой поверхности довольно трудно осуществим, 
поэтому желательно использование отдельных масок с размерами не более 
30х30 мм.
Для 
совмещения 
топологических 
рисунков двух и более 
масок 
необходима 
оснастка, позволяющая 
жестко 
закреплять 
обрабатываемый образец 
(изделие) и фиксировать 
сменные 
накладные 
маски, например за счет 
их посадки на цилиндрические штыри небольшого (до 1,5 мм) диаметра. 
Штырей, на которые попадают отверстия в масках, может быть 2 или более.
Рис. 1. Топология для химического фрезерования и 
фотографии деталей, полученных сквозным химическим 
травлением
. 

---