Fotoenergetikada nanostrukturali yarimo‘tkazgich materiallar II xalqaro ilmiy anjumani

Fotoenergetikada nanostrukturali yarimo‘tkazgich materiallar

II xalqaro ilmiy anjumani 
 
19-20 noyabr 2021 yil 
160 
1984, 471 с.
4. Lang D.V. Deep level transient spectroscopy A new method to 
characterize traps in
semiconductors. J.Appl. Phys. 1974.Vol.45. №7, p. 3023-3032.
5.Miller 
G.L., 
Lang 
D.V.,Kimerling 
L.C. 
Capacitance 
transient 
spectroscopy.
Ann.Rev.Mater.Sci., 1977, v.7, p.377-448. 
6. Utamuradova Sh,B. Study of the efficiency of deep centers formation, 
created by chromium
impurities in silicon. SCIENCE AND WORLD International scientific 
journal, № 2 (54), 
2018, Vol. I, pp. 12-14. 
 
ИССЛЕДОВАНИЕ СТРУКТУРНОГО И ЭЛЕМЕНТНОГО 
 СОСТАВА ПЛЕНКИ ПО ГЛУБИНЕ 
 
Б. Д. Игамов
1
, А.И. Камардин
1
, М.Т. Нормурадов
2
, 
Д.А.
 
Нормуродов
2

1
Институт ионно-плазменных и лазерных технологий АН РУз 
2
Каршинский государственный университет, Карши, Узбекистан 
На данный момент, по мнению ведущих ученых мира, одним из 
наиболее 
перспективных 
путей 
повышения 
эффективности 
термоэлектрических 
преобразователей 
считается 
создание 
наноструктруированных материалов. Наноструктруирование открывает 
новые возможности для модификации транспортных свойств материалов за 
счет управляемого изменения их структуры [1].
Для анализа структуры полученных пленок в разрезе и определения ее 
толщины и слоистости нами был использован метод фокусированного 
ионного пучка. 
Сначала выбирался определенный участок на поверхности полученной 
пленки, затем на выбранный участок пленки осаждался материал 
определенной формы с помощью ионной пушки. В качестве материала 
выбрана платина поскольку она значительно плотнее силицида марганца и 
слюды, что позволяет получить картины с лучшей контрастностью (рис.1). 
Далее подложка с пленкой наклонялась на 52 градуса по отношению к 
ионному пучку. После этого прямо перед платиновым бруском выбирался 
участок и проводилось травление. Результат травления показан на рис.2. 

---