Fotoenergetikada nanostrukturali yarimo‘tkazgich materiallar II xalqaro ilmiy anjumani

Fotoenergetikada nanostrukturali yarimo‘tkazgich materiallar

II xalqaro ilmiy anjumani 
 
19-20 noyabr 2021 yil 
161 
Рис. 1. РЭМ-изображение поверхности 
образца с напыленным фрагментом платины. 
Рис. 2. РЭМ-изображение образца с 
напыленным фрагментом платины после 
травления участка рядом с платиновой 
пластинкой. 
В результате такой подготовки после электронно-микроскопического 
зондирования удается получить изображение, на котором видны все слои 
исследуемой пленки (рис.3). Как видно из рис.3 в разрезе образец имеет 
слоистую структуру, которая вероятно связана с тем, что магнетронное 
напыление производилось в несколько стадий. Благодаря полученным 
изображениям, удалось определить причину возникновения многочисленных 
пузырей на поверхности образца В (рис. 2). 
Очевидно, что во время напыления поверхность подложки оказалась 
загрязненной. В результате этого вокруг каждого подобного фрагмента 
образовался купол, сжавшийся после отжига. Морфология среза образца 
пленки показаны на рис. 4 и 5. Из рисунков видно, что наличие загрязнений 
приводит к неравномерному росту пленок. 
Рис. 3. РЭМ-изображение среза пленки 
образца. 
Рис. 4. РЭМ-изображение образца 
пленки на срезе. 

---

Fotoenergetikada nanostrukturali yarimo‘tkazgich materiallar

II xalqaro ilmiy anjumani 
 
19-20 noyabr 2021 yil 
162 
Рис. 5. РЭМ-изображение образца пленки на 
срезе. 
Рис. 6. Картина ДБЭ поверхности 
образца. 
Нами также методом дифракции быстрых электронов на отражение 
было исследовано кристаллическое строение пленки Mn
4
Si
7
. На рис. 6 
приведена электронограмма поверхности образца, которая хорошо 
согласуется с картиной для фазы Mn
4
Si
7
. 
Анализ полученных результатов позволяет предполагать, что пленка 
имеет слоистую структуру с заметной границой раздела. Оценочная толщина 
пленки составляет ~0,7 мкм. 
Литература
1.
Тонкие плёнки. Взаимная диффузия в реакции./ Под реакцией Дж. Поута, 
Дж. Мейера. М.: Мир, 1982 г, 576 с. 
2.
Тявловский А.К., Жарин А.Л., Свистун А.И. Перспективные материалы и 
технологии: монография. / Изд. БНТУ, 2017, T 2, с.150-170. 
3.
Mogilatenko A. Surfactant mediated growth of MnSi
1.7 
layers on Si(001) / A. 
Mogilatenko, M. Falke, S. Teichert, H. Hortenbach, G. Beddies, H. Hinneberg // 
Microelectron. Eng. 2002. Vol. 64, pp. 211-218.