Академия наук республики узбекистан

Теоретическая и практическая значимость результатов иссле
-
дования.
Теоретическая значимость результатов исследований настоящей 
диссертации заключается в выявление механизмов действия катализаторов 
на основе однохлорной меди при гетерогенном катализе и этилата натрия
при 
каталитическом диспропорционировании
.
Знания, полученные
в ходе 
выполнения этих работ,
позволили
лучше понять физико
-
химические 
процессы синтеза и подобрать оптимальные условия для протеканий 
химических реакций в нужном направлении
.
Выявленные механизмы 
воздействия ионов на растущий поверхность будут полезны для 
предсказания некоторых параметров формируемых
структур. 
Практическая значимость разработанной моносилановой технологии 
заключается в том, что данная технология позволяет существенно снизить 
себестоимость производимой продукции и повышает её
конкуренто
-
способность на мировом рынке. Важную практическую значимость имеют 
также способ разделения и контроля потока заряженных частиц и устройство 
ионного зонда для его осуществления. Потенциально этот прибор может 
применяться на
каждой
из высоковакуумных и ультравысоковакуумных 
ростовых установок, где имеются электронно
-
лучевые испарители,
и 
расширит их функциональные возможности
.
Внедрение результатов исследования. 
На основе
разработок
моносилановой технологии получения поликристаллического кремния, а 
также ионно
-
стимулированных методов создания кремниевых структур:
на базе разработанной новой технологии синтеза алкоксисиланов на 
основе прямой реакции металлургического кремния и спирта в семи странах 
получено 7 патентов на изобретения: «Способ получения алкоксисиланов»
(IAP05023, 31.03.2015, Узбекистан), «А мethod for preparing trialkoxysilane»
(US9156861, October
13, 2015,
США), «А мethod for preparing trialkoxysilane»
(JP5836489, Dec. 24, 2015,
Япония),
«А мethod for preparing trialkoxysilane»
(EP2754664, 
July 
16, 2014
Европейский союз), «А м
ethod for preparing 
trialkoxysilane»
(TW201339094, October
01, 2013,
Тайван), «А м
ethod for 
preparing trialkoxysilane»
(CN103797018, May
14, 2014,
КНР),
«А м
ethod for 
preparing trialkoxysilane»
(KR101422080, 
July 
16, 2014,
Корея), где 
одновременное применение предложенных технических решений по 
измельчению кремния в среде растворителя, дозированной подаче суспензии 
56

---

в реактор и удалению излишек растворителя вместе с растворенными в нем 
посторонними примесями обеспечивает исключение индукционного периода 
прямой реакции металлургического кремния и спирта,
сохранение 
постоянного количества кремния, катализатора и растворителя, а также 
активности реакционной среды во весь период протекания процесса синтеза 
и в конечном итоге реализации полностью непрерывного процесса синтеза 
алкоксисиланов;
на основе новой техногии синтеза моносилана каталитическим 
диспропорционированием триалкоксисиланов в семи странах получено 7
патентов на изобретения:
«Способ получения моносиланов с применением
алкоксисиланов»
(IAP05179, 31.03.2016, Узбекистан), «A method for preparing 
monosilane by using trialkoxysilane», (US9278864, March 8, 2016,
США), «A 
method for preparing monosilane by using trialkoxysilane»
(JP2015535802, 
December 17, 2015, Япония), «A m
ethod for preparing monosilane by using 
trialkoxysilane»
(EP
2905258
, August 12, 2015, Европейский союз), «A method 
for preparing monosilane by using trialkoxysilane»
(TW201425222, July 01, 2014, 
Тайван), «A method for preparing monosilane by using trialkoxysilane»
(CN
104797527
, July 22, 2015,
КНР),
«A method for preparing monosilane by 
using trialkoxysilane»
(KR101532142, June 26, 2015,
Корея),
где предложенные 
технические решения по разделению продуктов реакции синтеза 
алкоксисиланов, 
выделению 
триалкоксисиланов, 
приготовлению 
катализатора и очистке моносилана обеспечивают глубокой очистки 
триалкоксисилана и моносилана в коротком технологическом цикле,
увеличение производительности технологического процесса
и реализации 
непрерывного технологического процесса.
на базе разработанного способа