Академия наук республики узбекистан

Практические результаты исследования 
заключаются в следующем:
Определено газохроматографическим методом начало протекания 
побочных реакций в процессе синтеза кремнийорганических соединений: 
три
- 
и тетраэтоксисилана при повышении содержания воды от
0,02% в 
составе спирта.
Определено с помощью моделирования в программе SIMION
6 
незначительное изменение эквипотенциальных поверхностей между 
источником потока и подложкой
при выдвижении ионного зонда с размерами 
30х30х35 в позицию подложки под ускорящим напряжением.
Определено образование слоя, состоящего
из интерметаллидных 
частиц размерами от 5 мкм до 20 мкм,
и являющегося
по данным 
рентгеноструктурного анализа интерметаллидом 
TiAl
3
при загрузке и нагреве 
в тигле электронно
-
лучевого испарителя 
Ti 
и 
Al 
в
соотношении 10:1.
55 

---

Определено
увеличение в 2,5 раза доли интерметаллидов в составе 
осажденного слоя при электронно
-
лучевом испарении 
TiAl
3.
Достоверность полученных результатов 
обоснована тем, что
в ходе
исследований применены
современные
методы
и подходы
материаловедения 
и физической электроники. Тщательно проанализированы условия 
эксперимента, на каждом этапе работ использовано
современное
аналитическое оборудование
с высокой точностью, скрупулёзно
обработаны 
результаты экспериментов. Полученные результаты и выводы хорошо 
согласуются с основными положениями теоретических и экспериментальных 
работ
других авторов, посвященных изучению физико
-
химических 
механизмов синтеза и роста пленок.