Академия наук республики узбекистан

Связь темы диссертации в виде научного доклада с планами 
научно
-
исследовательских 
работ.
Диссертационное 
исследование 
выполнено по плану научно
-
технических работ Института ионно
-
пдазменных и лазерных технологий в рамках научных проектов ГНТП ФА
-
А15
-
Ф126
«Разработка технологии и оборудования для получения 
поликристаллического кремния» (20
09-
2011), 
A4-
ФА
-
Ф172 «Разработка 
технологии получения тонкослойных, гранулированных и объемных 
кристаллов кремния из моносилана»
(2012
-
2014), ФА
-
А4
-
Ф057 «Разработка 
технологической схемы производства поликристаллического кремния» 
(2015
-
2017гг.), проектов ПФИ №ФА
-
Ф2
-
Ф097
««Исследование процессов 
роста наноостровков и центров кристаллизации органических и 
неорганических материалов»
(200
7-2011
), Ф
3-
ФА
-
Ф158
«Процессы 
преобразования энергии в системах на основе органических и 
неорганических гранулированных полупроводников с примесными 
неоднородностями малого размера» (2012
-
2016), а также двухсторонних
проектов, выполненных
в рамках Межправительственного Соглашения о 
научно
-
техническом сотрудничестве между Республикой Узбекистан и 
Германией с Университетом г.Штутгарт USB001/99 
– 
«Применение ионных 
пучков в молекулярно
-
лучевой эпитаксии» (1999
-
2001), UZB02/002 под 
названием «Формирование защитных покрытий на армированных 
углеродных подложках методами химического парового осаждения (CVD) и 
ионно
-
активированного физического парового осаждения (
IA 
PVD)» (2003
-
2005), UZB
01/007 «Управление релаксацией в SiGe/Si
гетероструктурах при 
in-situ 
ионной бомбардировке для сверхбыстродействующих полевых 
транзисторов»
(2007
-
2009)
.