Академия наук республики узбекистан

часть которого получают 
водородным восстановлением из хлорных соединений кремния. Из
-
за 
высокой энергоемкости и отрицательного воздействия на окружающую среду 
хлорсилановых технологий, чрезвычайно актуальна разработка и внедрение в 
производство энергосберегающих и экологически безопасных технологий 
производства поликристаллического кремния.
Когда в мире в ближайшие пять лет ожидается двукратное увеличение
3
спроса на поликристаллический кремний, особо актуально вместо 
хлорсилановых технологий внедрение новых производственных мощностей с 
моносилановыми 
технологиями, 
позволяющими 
резко 
сократить 
энергопотребление
технологического процесса. Однако, предлагаемые 
сегодня моносилановые технологии базируются на всё
том же 
хлорсилановом процессе, оставляя без решения проблемы, связанные с 
экологией и огромными капитальными расходами. Решение этой проблемы 
требует комплексных исследований условий и механизмов гетерогенных 
каталитических реакций, протекающих в моносилановом процессе 
получения
кремния, процессов прямой реакции металлургического кремния 
и спиртов и диспропорционирования алкоксисиланов, а также механизмов 
действия катализаторов в этих процессах и условий их активации.
В Узбекистане принимается ряд мер по развитию использования 
солнечной энергии. В частности, проводимые работы по созданию новых 
заводов по выпуску металлургического кремния, первичного сырья 
солнечной энергетики на базе местных сырьевых ресурсов 
– 
кварцитов также 
имеют важное
значение. Для соответствия выпускаемого металлургического 
кремния
требованиям электроники и солнечной энергетики требуется его 
передел через процесс глубокой очистки в поликристаллический кремний и 
решение этой задачи является востребованным. Поэтому разработка в 
республике энергосберегающих и экологически безопасных моносилановых 
технологий, требующих меньших капитальных затрат при создании 
производств,
имеет важное научное и практическое значение. Выполнение 
целевых научных исследований, в частности, исследований по разработке 
безхлорной моносилановой технологии получения поликристаллического 
кремния и создания технологического оборудования для качественного её 
осуществления; разработке ионно
-
стимулированных методов для создания 
кремниевых структур, служащих для формирования перспективных 
структур солнечных элементов на основе кремния,
и применение этих 
3
Jens Ulltveit-
Moe. REC Silicon 
– 
Nordic Energy Summit 2016, Oslo, 17 March 2016, 
http://hugin.info/136555/R/1995001/734790.pdf
49 

---

методов для повышения уровня легирования кремниевых структур во время 
их роста; для релаксации механических напряжений в гетероструктурах; для 
формирования сверхмалых и сверхплотных наноостровков; для проявления 
тепловольтаических свойств в кремниевых структурах; а также для создания 
переходных слоев между функциональными покрытиями и подложками
является весьма актуальной задачей.
Настоящая диссертация в виде научного доклада
в определенной 
степени посвящена решению задач, указанных в Указе Президента 
Республики Узбекистан УП
-
4512 от 1 марта 2013 года «О мерах по дальней
-
шему развитию альтернативных источников энергии» и в Постановлении 
Президента Республики Узбекистан ПП
-
1442 «О приоритетах развития 
промышленности Республики Узбекистан в 2011
-
2015 годах» от 15 декабря 
2010 года, а также в других нормативно
-
правовых документах, принятых в 
данной сфере.