Академия наук республики узбекистан

2.14
-
расм. Таклиф этилаётган кўпқатламли структура 
2.14-
расмда таклиф қилинган кўпқатламли пакет архитектураси 
қуйидагича:
•L1: Никель қотишмаси асосидаги таглик
. 
43 

---

•L2: Никель қотишмаси асосидаги таглик
короззияга чидамлиликни ҳосил 
қилиш ва таркибидан Si
бўлган қўшни қатлам билан мутаносибликни амалга 
ошириш учун кремнийлаштирилган.
•L3: Si
-Al 
боғловчи қатлам саъноатда одатий ишлатиладиган ва ўта қиммат 
бўлган
Pt
-Al 
қатламларини ўрнини босади. Градиентлашган композиция 
иссиқликдан кенгайиш коэффициентини бошқариш имкониятини беради.
•L4: Керамик қатлам окисланишга қарши барьер вазифасини ўтайди.
•L5: Иссиқликдан ҳимояловчи қатлам иссиқлик ўтказувчанлигини 
камайтиради ва совуш тезлигини оптималлаштиради.
Ионли стимуллашган электрон нурли буғни физикавий ўтқазиш 
системасида доимий магнит орқали электрон нурни 270° буриш имкониятига 
эга ва 10 кВ тезлаштирувчи потенциал ўрналилган 6 кВтлик электрон 
буғлатгичдан фойдаланилди. Электрон ва ион токлари зичлигини ўлчаш учун 
такликга мослаб
маҳсус ион детектори ўрнатилган. Жараённинг асосий 
хоссалари қўйидагича: вакуум: 10
-5
-5·10
-
6 
mbar; электрон пушканинг эмиссия 
токи: 15 мА дан 400 мА гача, буғлатилаётган материал ва жараённинг 
босқичларига боғлиқ ҳолда; силжиш потенциали: 0 В дан 1000
В гача. 
Қоплама сифатида: (Ti
-
Al), Si
- 
(Si
-
Al); таклик сифатида 617 русумли никель 
қотишмасидан фойдаланилди. Буғланиш юзаси ва таклик орасидаги масофа 
150 ммни ташкил қилди. Ўстирилган қатламларни қалинлиги уларнинг 
кўндаланг кесимини SEM ёрдамида таҳлил қилиш орқали аниқланди. 
Устки қатламни оралиқ қатламларга мослаштириш (ZrO
2
+
Al
2
O
3
) ва C
-
ZrO
2
ни (Si
-Al-Ni
) структураси
устига ўтқазиш орқали
амалга оширилди. (
2-
жадвал). Жадвалдан кўриниб турибдики, устки 
1-
қатлам таркиби ZrO
2 
стехиометриясига аниқ мос келади
.