Академия наук республики узбекистан

J
i
ни буғлатгичнинг электрон пушкаси ток 
эмиссияси 
I
e
ва тагликга ўрнатилган силжиш потенциали билан 
боғлиқлиги
2.12-
расмда келтирилган. Ион токининг ошиши расмда 
кўрсатилганидек,
силжиш потенциалини ортиши билан ошиб боради.
Шубҳасиз,
бу ион
-
стимуллашган ўтқазишда 
Cr
учун характерли 
боғлиқликдир
.
2.12
-
расм. Хром учун ион дасталарнинг ток эмиссиясига боғлиқлик графики 
I
esv
= 80 мА ва
V
s
= 1200 
В бўлганда ион токи зичлиги ўзининг 
максимал қийматига 
11µA·cm
-2 
эришади
. 
Cr
эгри чизиқлари 
диапозоннинг ўртасида эмиссия токи қийматининг ўзгариши кузатилди, 
бунда ток зичлиги ортиш ўрнига
эмиссион ток характерли қийматларида
камаяди. Бу камайишлар металларда юзада эриш зоналарини ҳосил 
бўлишига мос келади. EB
-
PVD ёрдамида ионларни генерация қилишдаги 
фарқланиш
Cr
учун унинг буғланиш коэффициенти, иссиқлик 
ўтказувчанлиги ва нурланиш натижасида иссиқлик йўқотишлари ва 
шунингдек,
атомлар ионлашув кўндаланг кесими самарадорлигига 
боғлиқ. EB
-
PVD жараёнида
ионлашув коэффициентини ҳисоблаш учун 
қатламлар қалинлиги 'Dectac 3030ST'
микропрофилометри ёрдамида ва 
шунингдек
кўндаланг кесими сканерловчи электрон микроскоп (SEM)
орқали таҳлил қилинди
. 
Ўстириш вақти
ҳисобга олган ҳолда
ўтқазилаётган атомлар дастаси ҳисоблаб
чиқилди ва натижада ионлашув 
41 

---

коэффициентини аниқлаш
имкони пайдо
бўлди. 
Cr
учун ўтқазилган 
атомлар оқимнинг ионлашув коэффициентини эмиссии токи
40 мА
бўлганда,
0,15% ташкил қилди.
Амалий масалалар учун буғлатгич сиртига яқин бўлган ионлашиш 
худудида генерация қилинаётган ионларнинг
тўлиқ токини баҳолаш 
муҳим аҳамият касб этади.
Физик катталикларнинг ўртача қийматларини 
ишлатган ҳолда тўлиқ ион токи учун қўйидаги ифодани олиш мумкин:
Ii=I
e
σ
eff 
nL
 
(2.16) 
бу ерда
I
e
электрон
пушка
токи
(50
-
100 мА), 
σ
eff
буғланаётган
атомларни 
электронлар билан урилгандаги ионлашув эффектив кесимининг ўртача 
қиймати (~10
-17
см
2
электрон энергияси
10 кэВ
учун), 
n
ионлашув
ҳудудида 
атомларнинг ўртача зичлиги
(~10
14
см
-3
), ва
L
ионлашиш ҳудудида
электронлар траекториясининг ўртача узунлиги
(~ 1
-
3 см).
Никель қатлами устига ўтқазилган Cr 
юпқа қатламининг морфологияси
сканерловчи электрон микроскоп 
(SEM)
орқали ўрганилди.