А. Тешабаев, С. Зайнабидинов, И. Каримов, С. Власов, В. Абдуазимов

8.2. Яримўтказгичлар атомар тоза сиртини ҳосил қилиш усуллари 
 
Атомар тоза сирт олиш учун биринчи шарт - ўта юқори вакуум
бўлишидир. Газнинг босими 10
-9
-10
-10
мм. сим. устуни тартибида бўлганда 
олинган атомар тоза сиртни зарур ўлчашлар учун етарли вақт давомида 
сақлаб туриш мумкин. Агар вакуум қурилманинг барча қисмларини етарлича 
юқори температурада 300-400
0
С узоқ вақт (12-30 соат чамасида) газсизланса 
бундай вакуумни симобли ва мойли насослар ёрдамида ҳосил қилиш мумкин.
Атомар тоза сирт ҳосил қиладиган ва унда 10
-9
мм симоб устуни 
чамасида вакуумни узоқ вақт (бир неча хафта ) тутиб тура оладиган 
қурилмалар ҳам яратилган. Аммо, шундай паст босим бўлганда ҳам 
тозалашдан 
бирор 
вақт 
ўтгач 
текширилаётган 
сирт 
адсорбланган 
молекулалар қатлами билан қопланади. 
Лекин, бу жараён секин кетади, чунки адсорбланадиган газнинг 
улуший босими кичик, сиртга адсорбланиш эҳтимоли ҳам кичик. 
Адсорбланган молекулалар бир қатлами ҳосил бўлиши вақти 40-400 соат 
чамасида. 
Юқори температурали қиздириш усулида сиртни тозалаш 
 
Агар 
кристални 
вакуумда 
суюлиш 
температурасига 
яқин 
температурагача қиздирилса, бу ҳолда дастлаб оксид қатлами буғланиб 
кетади,сўнгра асосий модда ҳам буғланади. 

---

66 
Натижада сирт етарли даражада тозаланади. Қаралаётган усулни 
суюлиш температураси анча юқори бўлган (1683
0 
К) кремнийга қўллаш 
мумкин. 1550 К температурада вакуумда қиздириш оқибатида кремнийнинг 
тоза сирти ҳосил қилинади. Бу жараёнда кремний ичига қурилманинг шиша 
деворларидан Бор (В) кириб қолади, у р - ўтказувчанлик ҳосил қилади. 
Бундан қутилиш чораси: кварцдан ясалган асбоб ускунадан фойдаланиш ёки 
Борни ионлар бомбалаши усули билан сиртдан узоқлаштиришдир. 
Қаралган усулнинг камчиликларни ҳам йўқ эмас. Қиздириш вақтида 
яримўтказгичнинг ҳажмий ҳоссалари (электрик ўтказувчанлиги, яшаш вақти 
ва бошқалар ) анча ўзгаради. Қизиб кетган қурилма қисмлари ҳам баъзи
газларни чиқаради, улар сиртдаги зарралар билан бирикмалар ҳосил қилиб 
тозалаш ўрнига ифлослашни келтириб чиқаради. Шу мулоҳазаларни 
эътиборга олиб мазкур тозалаш усулини қўллаш мумкин. 
Ушбу усулни яримўтказгич бирикмаларга асло қўллаб бўлмайди, 
чунки юқори температурали қиздириш таркибни бузади.