А. Тешабаев, С. Зайнабидинов, И. Каримов, С. Власов, В. Абдуазимов

8.3. Секин электронлар дифракцияси усули билан сиртнинг 
тозалигини текшириш 
Энергияси 20 дан 200 эВ гача 
бўлган 
электронлар 
дастаси 
текшириладиган 
сиртга 
тик 
йўналтирилади. Сиртдан сочилиб 
кетган 
секин 
электронлар 
электрометрга уланган силжувчи 
коллектор 
ёрдамида 
йиғилади 
Дифракцион 
манзарани 
олиш 
коллекторнинг 
бурилиш 
бурчагига 
боғлиқ 
равишда 
коллектор 
токини 
ўлчашдан 
иборат бўлади. Кейин дастанинг 
энергияси бошқа бўлганда ва 
кристаллнинг йўналиши турли 
бўлганда 
ўлчашлар
қайтарилади. Бу ишни 
тезлаштириш учун коллектор токини автоматик равишда ёзиб оладиган 
турли усуллар қўлланилади. Баъзи усулларда сочилган электронлар 
тезлантирилади ва дифракцион манзара бевосита люминесцент экранда 
кузатилади. 
Бир тажрибанинг кўрсатишича, 50 эВ энергияли сочилган электронларнинг 
75% текширилаётган модданинг юқориги қатлами атомлари томонидан 
чиқарилади. Демак, дифракцион манзара кристал сиртини тавсифлайди. 
8.1-расм

---

68 
Секин электронлар дифракцияси ёрдамида германий ва кремнийнинг 
юқори температурали қиздириш ва бошқа усуллар билан олинган сиртлари 
тадқиқланган. 
8.4. Яримўтказгичлар атомар тоза сиртининг физик ҳоссалари 
 
8.4.1. Сиртий ўтказувчанлик 
 
Германийнинг 
атомар 
тоза 
сирти анча катта р – турдаги 
ўтказувчанликка эга. Бунинг исботи 
сиртда майдон эффекти, вакуумда 
кристаллни ёриш усуллари бўйича 
ўлчашлардан аниқланган. Сиртий 
ўтказувчанликнинг ёриб олинган 
сирт учун қиймати (3,2·10
–4 
Ом
–1
) бу 
катталикнинг ионлар бомбардимони 
билан 
тозаланган 
сирт 
учун 
қийматига яхши мос тушади. Бу
тозаликнинг 
етарлича 
юқори 
эканлигини кўрсатади. 
Тоза 
сиртда 
оксигеннинг 
адсорбланиши дастлабки босқичида
р –ўтказувчанликни бироз оширади, 
кейин эса намуна ўтказувчанлиги 
пасаяди. Агар ўлчашлар оксигеннинг