Ў з б е к и с т о н р е с п у б л и к а с и Олий ва Ўрта махсус таълим вазирлиги Абу Райҳон Беруний номидаги

5HNO₃ + 3HF +3CH₃COOH + 0,06Br

Кремний (Si) учун икки турдаги емиргичдан фойдаланилади: кислотали ва ишқорли.

Кислотали емиргич сифатида азот ва фтор кислоталарининг ҳар хил таркибидаги аралашмасидан фойдаланилади. Бунда энг катта емириш тезлиги емиргич таркибининг қуйидаги моляр нисбатида кузатилади:


HNO₃ : HF = 1 : 4,5.

Кремний (Si) қуйидаги реакция бўйича эрийди:

3Si + 4HNO₃ + 18HF = 3H₂SiF₆ + 4NO + 8H₂O.

Энг яхши жилоловчи хусусиятларга эга емиргичларда азот кислотасининг миқдори кўпроқ бўлади (HNO₃ : HF = 2:1 ёки 3:1). Емириш тезлигини камайтириш учун асосий кислоталарга сирка кислотаси СН₃СООН (1.1-жадвал) қўшилади.

Ишқорли емиргич сифатида 10 - 20% КОН ва NaOH нинг сувли эритмасидан фойдаланилади. Оксидловчи вазифасини сув, оксидни эритувчи вазифасини (комплекс ҳосил қилувчи) гидрооксид бажаради. Бу жараён 90 -100 ^С да олиб борилади.
Кремнийни ишқорли емиришдаги йиғинди реакциянинг кўриниши қуйидагича бўлади:
Si + 2KOH + H₂O = K₂SiO₃ + 2H₂

Емиргич тури	Ҳажмий таркиб	Қўлланилиши	Емириш вақти
СР-8	HNO3 : HF = 2:1	Кимёвий жилолаш	1.....2 мин
СР-4А	HNO3 : HF : СН3СООН = 5:3:5	Кимёвий жилолаш ва p-n ўтишнинг чегарасини аниқлаш	2...3 мин
Уайт емиргичи	HNO3 : HF = 3:1	111текислигини кимёвий жилолаш	15 с
Деш емиргичи	HNO3 : HF : СН3СООН = 3:1:8	Ихтиёрий текисликни секин кимёвий жилолаш	1...16 соат

1.1-жадвал
Кремний учун ишлатиладиган асосий кислотали емиргичлар

Емиришнинг тезлиги ҳарорат ва емиргич концентрациясининг ошиб бориши билан ортиб боради. Емириш тезлиги ўзгармас бўлиши учун емиргич аралаштириб турилади. Емиришнинг максимал тезлиги емиргичнинг 30% ли концентрациясида кузатилади.

Ишқорли емиргичлар анизотроп емиришли характерга эга бўлади. Ундан дислокациялар ва бошқа нуқсонларнинг борлигини аниқлашда қўлланилади.
Агар кимёвий ишловлар бериш жараёнида таглик статик (қўзғалмас) ҳолатда бўлса, тагликнинг сиртлари ҳар хил емирилади. Бу ҳолатни йўқотиш учун кимёвий-динамик қайта ишловдан фойдаланилади. Бунда таглик айлантириб, емиргич актив аралаштириб турилади.