Ў з б е к и с т о н р е с п у б л и к а с и Олий ва Ўрта махсус таълим вазирлиги Абу Райҳон Беруний номидаги

Суюқ тозалаш органик эритувчилардан ҳамда ишқорли, кислотали, пероксидли ва бошқа реактивли сувдан фойдаланиб ўтказилади. Таглик (пластина) сиртини бир хил тозалаш учун сиртни гидрофил ҳолатга, яъни сув билан яхши ҳўлланадиган ҳолатга ўтказиш керак. Ёғли ифлосликларни кетказиш, яъни сиртни гидрофоб ҳолатдан (сув билан ёмон ҳўлланадиган ҳолат) гидрофил ҳолатга ўтказиш операцияси ёғсизлантириш дейилади. Ёғсизлантириш суюқ тозалашда биринчи операция ҳисобланади.
Умуман ярим ўтказгичли тагликларни ювиб тозалаш икки босқичдан ташкил топади:
1) Органик эритгичларда ёгсизлантириш (толуол, спирт).
2) Ўта тоза (дистилланган) сувда ювиш.
Тагликларни ёғсизлантиришда ифлосликлар қутбсиз табиатга эга бўлса, унда толуол, тўрт хлорли углерод, фреондан фойдаланилади. Агар ифлосликлар қутбли бўлса, унда ацетон, спирт, уч хлор этиленлардан фойдаланилади.
Қуруқ тозалаш микросхемаларнинг элементлари ва элементлараро боғланишларни шакллантириш босқичида қўлланилади ва одатда энг масъулиятли технологик жараёнлар (юпқа қатламни чанглантириб ҳосил қилиш, литография, термик оксидли қатлам, эпитаксиал қатлам кабилар) ўтказиш олдидан бажарилади.

1.2-расм. Пластина ва тагликларни тозалаш ва емириш усулларининг таснифи

Қуруқ тозалаш усуллари қимматбаҳо, хавфли ва экологияга салбий таъсир қиладиган суюқ реактивларсиз амалга оширилади. Бундан ташқари қуруқ тозалаш жараёнлари осон бошқарилади ва уларни автоматлаштириш мумкин.

Тозалаш жараёнларининг механизми нуқтаи назари бўйича ҳамма усуллар шартли равишда физик ва кимёвий усулларга бўлинади. Физик усулларда ифлосликлар оддий эритиш, куйдириш, сиртга катта энергияли инерт газларининг ионлари билан ишлов бериш билан йўқотилади. Агар бу усуллар ёрдам бермаса, унда кимёвий усуллардан фойдаланилади.
Емириш жараёни микросхемалар технологиясида алоҳида ўрин тутади. Бу жараён фақат тозалаш учунгина ўтказилмасдан, балки тагликларга ўлчамли ишлов беришда, бузилган қатламни олиб ташлашда, микросхемалар топологиясини шакллантириш учун ҳар хил материаллар қатламларини локал олиб ташлашда қўлланилади. Шу сабабли кимёвий емириш жараёнини мукаммал кўриб чиқамиз.

Интеграл микросхема тагликларига кимёвий ишлов бериш. Кимёвий ишлов бериш қуйидаги мақсадлар учун ўтказилади:

1. Пластинада тоза сирт ҳосил килиш.
2. Пластинадаги механик бузилган қатламни олиб ташлаш.
3. Пластинадан маълум қалинликдаги бошлангич материални олиб ташлаш.
4. Таглик сиртида керакли жойлардан бошланғич материални олиб ташлаш.
5. Таглик сиртига керакли электрофизик хоссаларни бериш.
6. Тагликнинг кристалл панжарасидаги структуравий нуқсонларни аниқлаш.
7. Мезоструктуралар олиш.
8. Гальваник қопламалар ўтқазиш.
Тагликларда тоза сирт олиш мураккаб ва қийин жараён бўлиб, қуйидагиларни ўз ичига олади:
а) дистилланган сувда ва эритгичларда ювиш.
б) эритгичларда улüтратовуш ёрдамида ювиш.
в) кимёвий ёки газли емириш.
Кимёвий ишлов беришнинг моҳияти таглик сиртини кислотали ёки ишқорли эритгичларда эритишдан иборат. Агар эритгич мўл бўлиб, унинг ҳарорати ўзгармас бўлса, қатлам бир хил тезликда олиб ташланади. Бунинг натижасида олиб ташланаётган қатлам қалинлигини аниқ хисоблаш мумкин. ßрим ўтказгичнинг материалига қараб, ҳар хил эритгичлар қўлланилади.
Германийга кимёвий қайта ишлов беришда асосий эритгич сифатида азот ва фтор кислотасининг аралашмаси ҳамда водород пероксидидан фойдаланилади. Азот кислотаси германий учун кучли оксидловчи ҳисобланади. Фтор кислотаси бу оксидни эритади. Водород пероксидида емириш 70-80^С ҳароратда олиб борилади. Емиргичларнинг емириш тезлигини, яüни кимёвий реакциянинг боришини бошқариш мумкин. Агар тезлатиш керак бўлса, бром , секинлатиш керак бўлса, сирка кислотаси маълум миқдорда емиргичга қўшилади. Германий (Ge) учун энг кўп ишлатиладиган емиргичнинг таркиби қуйидагича: