Ў з б е к и с т о н р е с п у б л и к а с и Олий ва Ўрта махсус таълим вазирлиги Абу Райҳон Беруний номидаги

Асосий қирқим йўналишини ориентациялаш

Асосий қирқим технологик қурилмаларда пластиналарни бир хил ориентациялаш учун керак бўлади.

Қўшимча қирқимлар пластиналарнинг аралашиб кетганида бир – биридан ажратиш (сортировка қилиш) учун керак бўлади.
Кесиш учун станокка қуймани елимлаб маҳкамлаш. Қуймани пластиналар қилиб кесиш.
Олдинги операцияларда ҳосил бўлган ифлосликларни йўқотиш учун пластиналарни тозалаш.
Пластиналарни жилвирлаш унинг қалинлигини бир хил қилиш, пластина томонларининг текислигини ва параллеллигини яхшилаш, сиртдаги ғадир-будурликларни камайтириш учун ўтказилади.
Пластина ифлосликлардан тозаланади.
Пластина сиртининг чеккасидаги фаскалар олиб ташланади. Бу структураларни шакллантиришнинг юқори ҳароратли жараёнларида дислокация ва механик кучланишларнинг ҳосил бўлиш эҳтимоллигини камайтиради, яъни нуқсонлар зичлиги камайиб, яроқли пластиналар чиқиш фоизи ошади.
Механик бузилган сирт қатламини олиб ташлаш учун пластиналарни емириш ва уларни тозалаш.
Пластиналарни жилолаш. Бу жилвирлаш ва фаскани олиб ташлашдан кейин сиртга ишлов беришнинг сифатини ва аниқлигини яхшилаш, ойнасимон текис, силлиқлик синфи 14 ва ундан юқори бўлган сирт ҳосил қилиш учун ўтказилади.
Пластина сиртини тозалаш ва қуритиш.
Пластиналарнинг геометрик, электрофизик параметрлари ва сирт сифатининг белгиланган нормаларга мос келишини назорат килиш.
Пластиналарни сақлаш ва микросхемалар структурасини тайёрлайдиган цехларга ташиш учун ўраш.




1.1-расм.Кремний пластиналарини тайёрлаш умумий маршрутининг схемаси
1.1-расмдан кўриниб турибдики, кремнийли пластиналарни тайёрлашнинг ҳамма маршрути учта босқичдан ташкил топар экан: биринчи босқич – қуймани механик ишловга тайёрлаш ва уни пластиналарга кесиш; иккинчи босқич – пластиналарга бошланғич ишлов бериш (жилвирлаш ва фаскаларни олиб ташлаш); учинчи босқич – пластиналарга охирги ишлов бериш (жилолаш). Бу босқичларниг ҳар бири пластиналарнинг назорати билан якунланади.