Scientific progress volume ǀ issue ǀ

ǀ
ISSUE 2 
ǀ
2022 
ISSN: 2181-1601
Uzbekistan
 
www.scientificprogress.uz
 
Page 287
потока вещества используются разогрев потоком электронов и различные формы 
газовых разрядов (тлеющий, дуговой с нерасходуемым термоэмиссиоиным 
катодом, дуговой с термоавтоэмисснонным расходуемым, катодом).
Применительно к нуждам машиностроения вакуумные ионно
-
плазменные 
методы нанесения покрытий и создания модифицированных поверхностных слоев 
можно условно разделить на четыре группы:
а) ионно
-
диффузионные методы, осуществляемые в тлеющем разряде;
б) методы, основанные на явлении катодного распыления в разряде 
постоянного тока и в высокочастотном разряде;
в) ионное осаждение;
г) ионное легирование и внедрение (имплантация).
Примером методов первой группы является ионное азотирование, которое 
может проводиться при более низких температурах и со значительно большей 
скоростью (табл. 1), чем традиционное (в результате радиационного 
стимулирования скорость диффузии азота многократно увеличивается). 
Ионнодиффузионные методы могут быть также применены для насыщения 
поверх
. 
Таблица 1
 
Влияние режимов ионного азотирования на толщину и твердость износостойкого 
слоя
. 
Сталь
Темпера
-
тура, °С
Длительность азотирования (в ч) для 
получения слоя толщиной, мм
HV, 
МПа
0,15-
0,2 
0,2 
–
0,25 
0,25- 
0,3 
0,3 
–
0,35 
0,35 
–
0,4 
40Х
520 
4-5 
7-9 
9-12 
12-15 
Т5
-18 
5000-
5500 
40ХФА
520 
4-5 
6-8 
8-10 
12-15 
15-18 
5100-
5600 
18ХГТ
550 
3-4 
4-5 
6-8 
9-12 
15-18 
5300-
6000 
30Х3МФ
530 
4-5 
6-8 
9-12 
15-18 
- 
7000-
7600 
38Х2МЮ
А
550 
4-5 
5-7 
7-9 
9-12 
15-18 
9000-
9500 
При использовании методов, основанных на явлении катодного распыления, 
покрытие образуется в результате конденсации главным образом нейтральных 
частиц, выбиваемых из мишени бомбардировкой ионами инертного газа (аргона, 
криптона), имеющими высокую энергию. Энергия частиц наносимого материала 

---

SCIENTIFIC PROGRESS
VOLUME 3