Scientific progress volume ǀ issue ǀ

Шохрух Ғайратжон
 
уғли
 
Рубидинов
 
Ферганский политехнический институт
 
АННОТАЦИЯ
 
В данной статье рассмотрены предложения и рекомендации по увеличению 
продолжительности азотирования для получения толщины слоя путем изучения 
состава и структуры стали и контрастных материалов методами вакуумно
-
ионно
-
плазменного покрытия при восстановлении деталей рабочих поверхностей.
Ключевые слова:
детал
, 
атом, молекул
, 
кластер, вакуумные ионно
-
плазменные, покрытий, слоя, ионно
-
диффузионные метод
 
VACUUM ION-PLASMA COATING OF DETAILS AND ANALYSIS OF 
CHANGES IN SUPERFICIAL LAYERS 
 
ABSTRACT 
This article discusses proposals and recommendations for increasing the duration of 
nitriding to obtain a layer thickness by studying the composition and structure of steel and 
contrast materials using vacuum-ion-plasma coating methods when restoring details of 
working surfaces. 
Keywords:
detail, atom, molecules, cluster, vacuum ion-plasma, coatings, layer, 
ion-diffusion method. 
Для образования качественного покрытия при более низких температурах 
деталей необходимо повысить энергию конденсирующихся на них частиц. При 
соударении с твердой поверхностью частиц с достаточно высокой энергией в 
микрообъемах создаются условия, при которых обеспечивается образование 
химических связей без объемного нагрева деталей (что лежит в основе всех 
вакуумных ионно
-
плазменных методов нанесения покрытий). В образовании 
покрытия при этих методах участвуют нейтральные и возбужденные частицы 
(атомы, молекулы и кластеры) с высокой энергией (превышающей в десятки и 
сотни раз энергию тепловых атомов и молекул) и ионы, энергию которых можно 
варьировать в широких пределах изменением ускоряющего напряжения.
Вакуумные 
ионно
-
плазменные 
процессы 
нанесения 
покрытий 
характеризуются следующими основными этапами: генерацией атомарного или 
молекулярного потока вещества, его ионизацией, ускорением и фокусировкой и, 
наконец, конденсацией на поверхности деталей или подложки. Для генерации 

---

SCIENTIFIC PROGRESS
VOLUME 3