Scientific progress volume ǀ issue ǀ

ǀ
ISSUE 2 
ǀ
2022 
ISSN: 2181-1601
Uzbekistan
 
www.scientificprogress.uz
 
Page 288
по крайней мере на порядок выше, чем энергия частиц, образующихся при 
испарении в термовакуумных методах. Методы позволяют наносить самые 
тугоплавкие и недостаточно стабильные соединения с сохранением их 
стехиометрического состава, нанесение которых термовакуумными методами 
невозможно. Находят применение системы с автономными ионными 
источниками. Системы распыления на постоянном токе используются для 
нанесения покрытий из проводящих электрический ток материалов, системы 
высокочастотного распыления –
из диэлектриков.
Наиболее полно преимущества методов, основанных на явлении катодного 
распыления, реализуются в системах магнетронного распыления, в которых 
разряд осуществляется в скрещенных электрических и магнитных полях. 
Благодаря этому производительность магнетронных распылительных систем 
одного порядка с производительностью установок, работающих по методу КИБ (с 
электродуговым испарителем). К преимуществам их относится отсутствие 
капельной фазы, что позволяет наносить покрытия практически без искажения 
исходного качества поверхности.
При использовании методов ионного осаждения частицы наносимого 
материала, переведенного тем или иным способом в газообразное или 
парообразное состояние, ионизируются и ускоряются в электрическом поле. 
Адгезия и служебные характеристики покрытий повышаются при увеличении 
энергии частиц, задаваемой ускоряющим напряжением. В нашей стране 
применяются методы КИБ (конденсация при ионной бомбардировке), РЭП 
неактивное электронно
-
плазменное напыление) и
др. В табл. 2 приведены 
сведения об износостойкости покрытий, нанесенных методом КИБ.
Таблица 2
 
Триботехнические характеристики покрытий TiN, нанесенных на сталь 
Р6М5 методом КИБ, при трении со смазкой М14В2 по разным материалам 
(линейный контакт)
Материал контртела
Н
200
материала 
контртела, 
ГПа
Удельный объемный 
износ, мм
3
/мм
Коэффицие
нт трения
контртела 
(

10
9
) 
покрытия 
(

10
11
) 
Медь M1
0,9 
16000,600 
58/5,4 
0,11/0,09 
Техническое железо Э
1,6 
9 000/140 
110/80 
0,12/0,08 
Серый чугун
3,2 
70/2,1 
40/3,5 
0,13/0,03 
Сталь 45
5,6 
2 100/1,4 
17/2,7 
0,11/0,08 
Сталь 20Х2Н4А 
(цементованная)
9,4 
140/2,8 
6,7/1,3 
0,14/0,03 
Сталь 38ХМЮА 
11,1 
340/4,9 
11/2,0 
0,12/0,09 

---

SCIENTIFIC PROGRESS
VOLUME 3