Scientific progress volume ǀ issue ǀ

ǀ
ISSUE 2 
ǀ
2022 
ISSN: 2181-1601
Uzbekistan
 
www.scientificprogress.uz
 
Page 289
(азотированная)
Примечание. 
В числителе –
значения для покрытия в исходном состоянии, в 
знаменателе
–
после полирования
. 
Ионное легирование, или имплантация, основано на том явлении, что при 
больших энергиях ионы проникают в кристаллическую решетку на большую 
глубину (легируя, таким образом, поверхностный слой детали). Этому 
способствует радиационно
-
стимулированная диффузия, благодаря которой 
легируется слой, толщина которого во много раз превышает глубину начального 
проникновения 
ионов. 
Механические 
свойства 
и 
износостойкость 
модифицированных таким способом поверхностных слоев повышаются также и в 
результате искажений кристаллической решетки, возникающих при «вбивании» в 
нее ионов легирующего компонента.
Ионные методы нанесения покрытий осуществляются с участием как 
физических (состав наносимого материала не изменяется), так и химических 
процессов (образуются новые соединения). При таких методах, именуемых 
реактивными, происходят плазмохимические реакции с ионами рабочего газа или 
специально вводимых в камеру добавок. Таким образом можно получать 
покрытия из самых разнообразных материалов и
в самых невероятных 
комбинациях. Освоено получение чистых металлов, карбидов, нитридов, 
силицидов, халькогенидов, оксидов и т. п. Можно получать покрытия сложного 
состава (например, оксикарбиды), многослойные или переменного по толщине 
состава.
Разработаны методы нанесения алмазоподобных пленок с очень высокой
твердостью. 
Образование 
покрытий 
при 
использовании 
реактивных 
(плазмохимических) процессов происходит в неравновесных условиях. Благодаря 
этому в тонких слоях могут образовываться химические соединения, по составу, 
структуре и свойствам сильно отличающиеся от наблюдаемых для объемных 
материалов (получаемых в условиях, близких к равновесным).
Ряд разработанных методов ионного нанесения покрытий уже находит
применение в промышленности. Успешно используется ионное азотирование. 
Стойкость неперетачиваемого инструмента из быстрорежущих сталей и твердых 
сплавов, а также штампового инструмента и оснастки повышается в несколько раз 
при ионном реактивном нанесении тонких слоев (до 10 мкм) некоторых 
тугоплавких веществ (карбидов, нитридов, оксидов, оксикарбидов). Высокими 
антифрикционными свойствами обладают покрытия из MoS2 без связующего, 
наносимые с помощью катодного распыления.