С. Зайнобидинов, X. Акромов яримутказгичлар

 
(3.59)
rs
 
|Гу|
бу эллипсомегриянинг асосий тенгламасидир. гр нинг rs 
га нисбати п2, %v nv dv Я, tpx параметрларнинг функция- 
сидир.
Иккинчи эллипсометрик параме'ф А
A = d P v * ™
d S**»r«m = d p - d S  
( 3-60)
га тенг булиб, у намуна сиртидан ёругликнинг кайтиши 
сабабли пайдо булган Р  ва S — ташкил этувчилари ораси­
даги фаза фаркини курсатади. М. домики ёругликнинг 
поляризация хдлаги факат иккита параметр билан аник,- 
ланар экан, битга тушиш бурчагига (<р0) мос келган билан 
улчашдан \ам иккита параметрни аникдаш мумкин. Кд- 
линлиги dt булган эпитаксиал плёнкали гомоэпитаксиал 
структуралар учун (3.59) тенглама куйидаги куринишни 
олади.
%тре‘А = 
(3.61)
1 + riP ■ r2Pe 
rls + r2Se
Бу ерда rlp, rls, r2P, ris -- \аво-плёнка, плёнка-таглик чега- 
раларидан ёругликнинг мос равищда Р ва S — ташкил 
этувчилари учун Френель кайтиш коэффициентлари, д — 
ёругликнинг калинлиги d{ булган эпитаксиал катламдан 
утишда вужудга келган фаза узгариши (градусларда):
300у ) (и ? - s i n 2^ ) ^
(3.62)
Маълумки, чизикди кутбланган ёругликнинг Р  ва S ком- 
поненталари учун диэлектрик сингдирувчанликлари
л/^i" =
«1
“ ' Х\ 
ва 
= п2 - i Х2
159

---

булган икки утказувчан мухит чегарасидан Френель к,ай- 
тиш коэффициентлари
^£() COS 
tpn
+ 
COS^J,
£q COS 
ip
0
~ tJE)
COS (Pj
£ COS^>[ - ^£2 COS ^2
cos 

+ y
£0
cosy>,
Ej" COS^I -
COS 
tp2
£[ COS 

0
— ^Ец COS^)]
^£[ COS y>| + V
f 2
COS
£ 
2
cos 

| + у £ j COS
ифодалар билан аникданади. Бу ерда уэ0 — ёругликнинг 
тушиш бурчаги, <рх — эпитаксиал к,атламдаги синиш бур­
чаги, (р2 — тагликдаги синиш бурчаги.
Модомики, Гц, г1р ва е~ы — комплекс катталиклар (г1Л., гхр — 
х,акик,ий катталиклар (чунки ^,=0) экан, (3.61) ифода хам 
комплекс булади. Х^ки^ий ва мавхум кисмларини ажра­
тиб, гр ва А ларнинг оптик константалари п2, х 2 — булган 
тагликка утказилган эпитаксиал к,атлам калинлигига 
6
o f
- 
ланишини аникдаш мумкин, яъни:
Ф, ва Ф г лар эллипсометрня асосий тенгламасининг 
х1
ак,ик,ий ва мавхум кисмларидир:
Бурчаклар (ip ва А ) ни улчаб, (3.63) тенгламаларни бирга 
ечиб кайтган тизимида исталган иккита ноаник, параметр- 
ни аникдаш мумкин. Демак, эллипсометриянинг амалий 
масалалари пп+, рр+ эпитаксиал структураларда эпитак­
сиал катлам калинлиги х,амда тагликдаги заряд ташув«и-
cosp, = I 1 - — sin2 <рп; 
cosp2 =
1 - — sin2 (р0