С. Зайнобидинов, X. Акромов яримутказгичлар

Кутбланиш бурчаклари у ва А ни тажрибада аник,лаш
Чизикли кутбланган ёругликни та\лил килиш, яъни 
эллипсометрия параметрларини аниклаш курилмаси куйи­
даги асосий кисмлардан иборат булади: ёруглик манбаи, 
поляризатор, анализатор, чорак тулкин узунлик пласти­
на (компенсатор) фотокайдкилгич, модулятор, кучайтир- 
гич. Лазерларнинг интенсивлиги спектрофотометр ёруг­
лик манбаларига нисбатан катта булгани учун, сунгги 
йилларда улар эллипсометрларда ёруглик манбаи сифа­
тида ишлатилмокда. Саноатда улар асосида х,ар хил тулкин 
узунлик сох,асида ишлайдиган эллипсометрлар, эллипсо­
метрик микроскоплар ( У И Т —Т Э С , Э И —09, И Т — 1, 7— 
0031; Л Э М —2, Л Э М — 3, Л Э Ф — З М ва бошкалар) ишлаб 
чикарилади.
Табиий ёрукликдан чизикди кутбланган ёруглик олишда 
поляризатор кулланилади, анализатор поляризатор каби
163

---

ишлайди ва компенсатордан утган кутбланган ёругликни 
тахдил кдлишга хизмат килади. Фак,ат чизикди поляри­
затор ва анализатор оркали к,исман кутбланган ёруглик­
ни эллиптик кутбланган ёруишкдан ажратиб булмайди, 
чунки анализаторни оптик у к, атрофида айлантирганда, 
икки холда \ам ёругликнинг интенсивлиги узгаради, ин- 
тенсивликнинг Максимум к,ийматини минимумга нисба­
ти бир хил булиши мумкин. Бу нисбат айлана буйлаб кутб­
ланган ёруглик учун х,ам, табиий ёруглик учун .\ам бирга 
тенг булади. Буларни бир-биридан ажратиш (фаркдаш) 
учун эллиптик кутбланган нур анизатропик кристаллдан 
ясалган пластина (компенсатор) дан утказилиб, унинг 
ортогонал ташкил этувчилари орасида шундай фаза фар- 
к«и \осил килиш мумкинки, бунда эллиптик кутбланган 
ёруглик чизикди кутбланган нурга айлансин. Бу \одиса 
анализаторда кузатилади ва тахдил кдлинади. Компенса­
тор сифатида икки укди кристалларда бош у к, и га парал­
лел кдлиб кирциб олинган кварц, слюда, исланд шпати, 
CdS — монокристалл пластиналари кулланилади. Агар 
компенсатор пластинасига кираётган чизикди кутблан­
ган ёругликнинг электр майдон кучланганлиги вектори 
кристаллнинг оптик ук,ига нисбатан 45° бурчак остида туш- 
са, у хрлда оддий ва гайриоддий нурларнинг интенсив- 
ликлари бир хил булади. Агар пластина калинлиги
у = 2jtd(n0 - пн )/х
шартни каноатлантирса, у холда компенсатордан чикдан 
нур айлана буйлаб кутбланган ёрутликка айланади. О д ­
дий ва гайриоддий нурлар орасидаги нурлар 
га тенг
фаза фарки пайдо киладиган пластина чорак тулк,ин узун­
лик пластинаси деб юритилади.
Бу ерда, п0 — оддий нурнинг нур синдириш курсатки­
чи, пн — гайриоддий нурнинг нур синдириш курсаткичи. 
Кутбланиш бурчаклари гр ва А ни тажрибадан аникдаш 
учун поляризатор ва намуна орасига уларга нисбатан уки 
45° бурчак остида чорак ту;щин узунликли пластина жой- 
лаштирилади. У улчов давомида узгартирилмайди. Бу
164

---

\олда интенсивликнинг минимумга эришиш \олати ф о ­
то к;абулк,илгич ёрдамида кетма-кет анализатор ва поля- 
ризаторларни бураб топилади. Одатда минимумни 3—4 
марта кетма-кет бураш билан топиш мумкин, бу билан 
поляризаторни ва анализаторнинг азимут бурилиш бур- 
чаклари аникланади. Улчов одатда улчашнинг, яъни, ана­
лизатор азимут бурчагининг икки сохасида бажарилади. 
Биринчи сохада анализаторнинг азимут бурчаги 0<Л, < + 
+ 90° ораликда узгаради. Бу сохада Д<180° да булса, ёруг- 
лик миним ум и поларизатор азимут бурчагининг - 
45°<Р<+45° оралигида, Д>180° булганда эса поляризатор 
азимут бурчаги 45°<Р<135° оралигида кузатилади. Анали­
затор азимут бурчагининг иккинчи узгариш сохасида 
90°<Л2< 180° ёруглик минимуми поляризатор азимутини 
45°да гр ва А лар