С. Зайнобидинов, X. Акромов яримутказгичлар

йуналишида таълим олувчи талабаларга, шунингдек университетлар, пе­
дагогика ва техника олий укув юртларининг яримутказгичлар, микро­
электроника, электрон асбоблар ва бошк,а со^алар буйича ихтисослаша- 
ётган талабалар, аспирантлар, шунингдек, шу со\а ук,итувчилари ва ил- 
мий ходимларга мулжалланган.
БЬК 22.379я73
ISBN 5-640-02839-5
, 1604010000-67 
,
А ----------- 2001
351 (04) 2000
© “У ЗБ Ь К И С Т О Н ” нашриёти, 200! й.

---

К И Р И Ш
Илмий-техникавий ривожланишни яримутказгичли 
электроникасиз, хусусан микроэлектроникасиз тасаввур 
килиш кийиндир. Замонавий микроэлектроникада ярим­
утказгичли материаллар ва куп катламли структуралар- 
дан кенг куламда фойдаланилади ва улар асосида турли 
хил яримутказгичли асбоблар ва микросхемалар тайёрла- 
нади, Яримутказгичли материалларни ишлаб чик,ариш- 
нинг ривожланиши уларнинг сифатини лаборатория ва 
саноат шароитида текширишнинг говори даражага кута- 
рилиши билан боглик,. Бунда ишлаб чикдриш сохалари 
технологик йук,отишлари ва уларнинг ишлаб чикдришда- 
ги сифатини назорат к,илишга кетган моддий харажатлар- 
нинг улчамлари аникданади. Шунинг учун саноат корхо- 
наларини юк,ори аникдикдаги ва юкрри ишлаб чик,ариш 
унумига эга воситалар билан жихозланган, яримутказгич 
материалларнинг сифатини текширувчи янги, илгор усул- 
ларни ишлаб чикиш ва узлаштириш яримутказгич мате­
риаллар ва структураларни ишлаб чи^ариш и^тисодий 
самарадорлигининг усиши билан бевосита богликдир, 
Афсуски яримутказгичларнинг хамма параметрлари­
ни хам оддий ва кулай булган усуллар билан улчаш мум­
кин эмас. Уларнинг купчилигини улчаш махсус физик 
услубиятни ва мураккаб аппаратураларнинг ишлатили- 
шини талаб к,илади. Шунинг учун яримутказгичларнинг 
параметрларини улчаш усуллари сунгги йилларда яримут­
казгичлар физикаси ва техникаси булимлари билан бир 
к,аторда ривожланиб мустакдл йуналиш булиб крлмокда. 
Яримутказгичлар физикаси ва яримутказгичли электро­
ника масалалари ёритилган китобларнинг сони кам эмас,
з

---

лекин уларда яримутказгичларнинг параметрларини улчаш 
ва яримутказгичли материалларни текшириш усулларига 
кам эътибор берилган. Умид к,иламизки, мазкур куллан- 
ма маълум даражада укувчиларнинг яримутказгичлар фи- 
зикасининг бу булимига булган эхтиёжини к,ондиради. 
Кулланмада яримутказгич материаллар параметрларини 
улчаш усулининг физик асослари кенг ёритилган. Ярим­
утказгич параметрларини улчашнинг айрим муаммолари 
яримутказгич материалларнинг хоссаларини урганувчи 
китобларда кенг ва тула ёритилганлигини хисобга олган 
Холда улчаш усулларини ёритишнинг хожати булмади. Бу 
китоб узбек тилидаги дастлабки китоб булиб, у яримут­
казгичлар физикаси ва техникаси масалалари билан бе- 
восита шугулланувчи талабаларга мулжалланган.
Кулланмада хар хил катта хажмдаги намуналар, плас- 
тинкалар, юпк,а к,атламлар, хар хил турдаги яримутказ­
гичли структуралар параметрларини хамда номувозанат 
холатидаги заряд ташувчилар параметрларини, яъни за­
ряд ташувчилар яшаш вакд-ини, диффузион узунликни 
диффузия коэффициентини, сирт рекомбинация тезли- 
гини ва нихоят чукур сатхли марказлар параметрларини 
улчаш усуллари ёритилган.

---

ЯРИМУТКАЗГИЧЛАРДА СОЛИШ ТИРМА 
К А РШ И Л И К Н И УЛЧА Ш УСУЛЛАРИ
I-БОН