|
1.9-§. Солиштирма царшиликнн металл-яримутказгич
нуктавий контактининг тешилиш кучланиши
буйича улчаш усули
Солиштирма каршилиги
р
тагликникидан катга булган
эпитаксиал катламларда
(пп\ рр' —
струкгураларда) с о
лиштирма каршилик металл-яримутказгич нуктавий кон
тактининг (диоднинг) тешилиш кучланиши оркали аник-
ланиши мумкин. Усулни бир жинсли намуналарга, пп+,
р'р, р-п
эпитаксиал структураларга хам куллаш мумкин.
Лекин уни метрологик курсаткичлари бошка усулларга
нисбатан пастрок булгани учун сунгти туркум намуналар-
да
р —
ни улчашга кенг кулланилмади. Курилаётган усул
билан
р
— ни аникдашда намуна сиртига учта зонд жой-
лаштирилади (1,23-расм). Зонд материалининг шакли игун-
дай танланиши керакки, бунда 1 ва 2-зондлар контактла-
ри Ом контактига якин булиб, контакт каршилиги кичик
булсин, 3-зонд эса контакти яримутказгич билан нукга-
вий диод хосил килсин. 1 ва 3-зондларга кутбланиши ди
однинг тескари йуналишига мос келадиган пульсацияла-
нувчан кучланиш берилади, 2 ва 3-зондлардан кучланиш,
R
— каршилик ёрдамида диоддан утаётган ток улчанади.
Диоднинг вольт-ампер характеристика (тавсифи)си кириш
Каршилиги катга булган ос.циллографда курилади ва те-
1.23-расм.
Металл-яримутказгичли структураларда нуктавий
контактнинг тешилиш кучланиши буйича солиштирма каршиликни
Улчаш схемаси
(а),
ВА Х ни тескари кучланиш сохас.и (б).
шилиш кучланиши сохасидаги бурилиш нукгаси к,айд рли-
пади
(Umu).
3-зондни куллаш билан 1 зонд контакт к,ар-
шилигининг таъсири йукотилади.
Амалий тадкикотлар нуктавий диоднинг тешилиш куч-
ланиши куп омилларга, масалан, тешилиш кучланиши-
иинг утказувчанлик типига, зондга куйилган кучланишга
(босим кучига), контакт юзасига, сирт ишловига боЕяик-
лигини курсатади. Бу бокланишларни мукаммал ёритган
нуктавий диод назарияси ва тешилиш кучланишини со
лиштирма каршилик билан
боЕпаган
аналитик ифодаси
йук Демак, курилаётган усул билан
р
ни тугридан-тугри
улчов утказиш оркали аникдаб булмайди. Шу сабабли
р
ни аникдашда солиштирма каршиликлари маълум булган
(эталон) намуналар ёрдамида
UTeui=f(r)
бонтанишни да-
ражалаш графиги олиниб, ундан фойдаланиш такозо эти-
лади. Яримутказгичлар солиштирма каршилиги 0,1 дан
10 Ом. см гача булган ораликда нуктавий диодларда те
шилиш кучланишининг
р
га боищкдик (даражалаш) гра
фиги
U =А рь
(1.117)
теш
'
v
'
68
куринишидз ифодаланади. Бу ерда:
А, b
— яримутказгич,
зонд материалларига ва бир кднча юкорида келтирилган
омилларга борлик. козффициентлар. Солиштирма карши
лиги 0,08<р<4 Ом. см булган «-тип кремний намуналар
билан вольфрам зонди хосил килган нуктавий диодда
тешилиш кучланиши куйидаги куринишда хисобланади:
ипш= 9 2 р ^
(1.118)
By богланиш 1 ва 2 зондларга диаметри 250 мкм, 3 зондга
эса диаметри 60 мкм булган вольфрам куллаш билан олин
ган. Усулни кремний эпитаксиал структураларига куллаш
буйича утказилган текширишларга кура эпитаксиал кат-
ламларда ишончли натижалар олиш учун катламнинг со
лиштирма каршилиги 0,1<р<1 Ом. см ораликда булиш-
лиги, калинлиги 5 мкм дан кам булмаслиги максадга му-
кофидир.
р
нинг куйи чегараси В А Хни тешилиш
сохасидаги куринишининг ёмонлашиши, яъни тешилиш
сохасида бурилишнинг аник намоён булмаслиги билан,
юкори чегараси катта тескари кучланишда тагликка то
мон силжиб, катлам оркали тешилиши билан тушунти-
рилади.
п-п+
эпитаксиал структураларда л-катламнинг с о
лиштирма каршилигини аниклашда даражалаш графиги
С/еш=68,39 +р°-536+ 21,23р0’877
(1.1 19)
куринишда ифодаланган муносабатдан фойдаланиш тав-
сия этил ад и. Зонд материалларининг
га таъси-
рини урганишда пулат, вольфрам, осмий кулланилган.
н-гип кремнийда зонд материалларининг таъсири катта
эмаслиги аникланган. Зонддаги босим кучининг теши
лиш кучланишининг кийматига таъсири кучлирокдир.
Ьосим кучини 10 г дан 100 г гача узгариш эталон моно
кристалл намуналарда 10%, эпитаксиал катламларда 20%
камайишга олиб келган. Кремний намуналаридаги кони
ка рл и натижалар зондга 50 г куч куйилганда учининг ди
аметри 250 мкм булган осмий зонд куллаш билан олин
ган. Эпитаксиал катламларда огиш бурчаги Г булган кия
гскислик хосил килиб, солиштирма каршиликнинг калин-
лик буйича таксимотини урганиш мумкин. Икки хафта-
69
гача сакданган намуналарда узгармас ток билан ВАХ ни
улчаш кулланилганда натижаларнинг такрорланиши 5%,
киска муддатда сакданган намуналарда 1% га етади.
Do'stlaringiz bilan baham: |
