С. Зайнобидинов, X. Акромов яримутказгичлар

1.9-§. Солиштирма царшиликнн металл-яримутказгич 
нуктавий контактининг тешилиш кучланиши 
буйича улчаш усули
Солиштирма каршилиги 
р
тагликникидан катга булган 
эпитаксиал катламларда 
(пп\ рр' —
струкгураларда) с о ­
лиштирма каршилик металл-яримутказгич нуктавий кон­
тактининг (диоднинг) тешилиш кучланиши оркали аник- 
ланиши мумкин. Усулни бир жинсли намуналарга, пп+, 
р'р, р-п
эпитаксиал структураларга хам куллаш мумкин. 
Лекин уни метрологик курсаткичлари бошка усулларга 
нисбатан пастрок булгани учун сунгти туркум намуналар- 
да 
р —
ни улчашга кенг кулланилмади. Курилаётган усул 
билан 
р
— ни аникдашда намуна сиртига учта зонд жой- 
лаштирилади (1,23-расм). Зонд материалининг шакли игун- 
дай танланиши керакки, бунда 1 ва 2-зондлар контактла- 
ри Ом контактига якин булиб, контакт каршилиги кичик 
булсин, 3-зонд эса контакти яримутказгич билан нукга- 
вий диод хосил килсин. 1 ва 3-зондларга кутбланиши ди­
однинг тескари йуналишига мос келадиган пульсацияла- 
нувчан кучланиш берилади, 2 ва 3-зондлардан кучланиш, 
R
— каршилик ёрдамида диоддан утаётган ток улчанади. 
Диоднинг вольт-ампер характеристика (тавсифи)си кириш 
Каршилиги катга булган ос.циллографда курилади ва те-

---

1.23-расм.
Металл-яримутказгичли структураларда нуктавий 
контактнинг тешилиш кучланиши буйича солиштирма каршиликни 
Улчаш схемаси 
(а),
ВА Х ни тескари кучланиш сохас.и (б).
шилиш кучланиши сохасидаги бурилиш нукгаси к,айд рли- 
пади 
(Umu).
3-зондни куллаш билан 1 зонд контакт к,ар- 
шилигининг таъсири йукотилади.
Амалий тадкикотлар нуктавий диоднинг тешилиш куч- 
ланиши куп омилларга, масалан, тешилиш кучланиши- 
иинг утказувчанлик типига, зондга куйилган кучланишга 
(босим кучига), контакт юзасига, сирт ишловига боЕяик- 
лигини курсатади. Бу бокланишларни мукаммал ёритган 
нуктавий диод назарияси ва тешилиш кучланишини со­
лиштирма каршилик билан 
боЕпаган 
аналитик ифодаси 
йук Демак, курилаётган усул билан 
р
ни тугридан-тугри 
улчов утказиш оркали аникдаб булмайди. Шу сабабли 
р 
ни аникдашда солиштирма каршиликлари маълум булган 
(эталон) намуналар ёрдамида 
UTeui=f(r)
бонтанишни да- 
ражалаш графиги олиниб, ундан фойдаланиш такозо эти- 
лади. Яримутказгичлар солиштирма каршилиги 0,1 дан
10 Ом. см гача булган ораликда нуктавий диодларда те­
шилиш кучланишининг 
р
га боищкдик (даражалаш) гра­
фиги
U =А рь
(1.117)
теш 
'
v 
'
68

---

куринишидз ифодаланади. Бу ерда: 
А, b
— яримутказгич, 
зонд материалларига ва бир кднча юкорида келтирилган 
омилларга борлик. козффициентлар. Солиштирма карши­
лиги 0,08<р<4 Ом. см булган «-тип кремний намуналар 
билан вольфрам зонди хосил килган нуктавий диодда 
тешилиш кучланиши куйидаги куринишда хисобланади:
ипш= 9 2 р ^
(1.118)
By богланиш 1 ва 2 зондларга диаметри 250 мкм, 3 зондга 
эса диаметри 60 мкм булган вольфрам куллаш билан олин­
ган. Усулни кремний эпитаксиал структураларига куллаш 
буйича утказилган текширишларга кура эпитаксиал кат- 
ламларда ишончли натижалар олиш учун катламнинг со ­
лиштирма каршилиги 0,1<р<1 Ом. см ораликда булиш- 
лиги, калинлиги 5 мкм дан кам булмаслиги максадга му- 
кофидир. 
р
нинг куйи чегараси В А Хни тешилиш 
сохасидаги куринишининг ёмонлашиши, яъни тешилиш 
сохасида бурилишнинг аник намоён булмаслиги билан, 
юкори чегараси катта тескари кучланишда тагликка то­
мон силжиб, катлам оркали тешилиши билан тушунти- 
рилади. 
п-п+
эпитаксиал структураларда л-катламнинг с о ­
лиштирма каршилигини аниклашда даражалаш графиги
С/еш=68,39 +р°-536+ 21,23р0’877 
(1.1 19)
куринишда ифодаланган муносабатдан фойдаланиш тав- 
сия этил ад и. Зонд материалларининг 
га таъси-
рини урганишда пулат, вольфрам, осмий кулланилган. 
н-гип кремнийда зонд материалларининг таъсири катта 
эмаслиги аникланган. Зонддаги босим кучининг теши­
лиш кучланишининг кийматига таъсири кучлирокдир. 
Ьосим кучини 10 г дан 100 г гача узгариш эталон моно­
кристалл намуналарда 10%, эпитаксиал катламларда 20% 
камайишга олиб келган. Кремний намуналаридаги кони­
ка рл и натижалар зондга 50 г куч куйилганда учининг ди­
аметри 250 мкм булган осмий зонд куллаш билан олин­
ган. Эпитаксиал катламларда огиш бурчаги Г булган кия 
гскислик хосил килиб, солиштирма каршиликнинг калин- 
лик буйича таксимотини урганиш мумкин. Икки хафта-
69

---

гача сакданган намуналарда узгармас ток билан ВАХ ни 
улчаш кулланилганда натижаларнинг такрорланиши 5%, 
киска муддатда сакданган намуналарда 1% га етади.