С. Зайнобидинов, X. Акромов яримутказгичлар

1.21-расм.
Сирти \ap хил ишланган намуналарда таркалган 
Каршиликни солиштирма каршиликка богланиши: 1,2 — механик 
сайк,алланган; 3,4 — Н О бутида едириш; 2,4 — H F кислотада 
ишловдан кейинги намуналар учун.
лаш, сунг ишкорли эритмага 
Si02
кукуни солинган сус- 
пензияда ялтиратиллди, яъни сайк,ал берилади ёки водо­
род хлорид (
НС1)
кислотаси бугидан сиртни едириш учун 
фойдаланилади. Бу усул билан ишланган намуналарда 
(1.21-расм) солиштирма каршилик 0,001*10 Ом-см ора­
ликда улчанганда ва ишонч эхтимоли 0,95 булганда хато­
лик 5% дан ошмайди. Арсенид галлий 
{GaAs)
намунала­
рида сирт ишловига куйилган талаб оксид кдтламини олиб 
ташлаш ва улчаш вактида унинг йукдигини текшириш 
хисобланади, чунки оксидланган парда булганда контакт 
Каршилиги жуда ортиб кетади. Охирги ишлов боскичида 
заррачасининг катталиги 0,3 мкм булган кукунсимонЛ/20 3 
билан сайкал бериш ва 
HCI: Н20=\
: 1 нисбатда булган 
эритмада ёки 40% 
HF
да кимёвий ишлов бериш ва тоза 
дистилланган сувда ювиш, ишловдан сунг тез улчов утка- 
зиш тавсия этилади.
64

---

2. 
Солиштирма каршиликнинг цалинлик буйича тацси- 
мотини улчаш.
Нуктавий контактнинг таркалган каршилик усули бир 
жинсли булмаган намуналарда, диффузион, эпитаксиал 
кдгламларда солиштирма каршиликни калинлик буйича 
аниклашда \ам кулланилиши мумкин. Бунинг учун улчов 
намуна сиртини кимёвий ёки кукунсимон модцалар пас- 
гасида кетма-кет едириш, яъни, калинликни камайти- 
риш усули билан ёки бир томонга нишаб ясси сирт хосил 
Килиш усули оркали утказилади. Иккинчи усул билан 
Улчашда горизонтал 
х
— уки буйича силжитиб улчанган 
каршиликни (/?(*)) чукурлик буйича булган каршилик 
R(y) 
га келтирилади. Кдтлам калинлиги у горизонтал 
х
корди- 
ната оркали j>=xtga ифода билан топилади. Бу ерда, 
а
— 
намунанинг горизонтал сирти билан бир томонга нишаб 
сирти орасидаги бурчак. Чукур диффузион катламларнинг 
солиштирма каршилигини улчашда томонларининг нис­
бати 1 : 100, саёз диффузион катламларнинг солиштирма 
каршилигини улчашда томонларининг нисбати 1 : 1000 
булган кия сирт тайёрланади 
(d=y ::
с=1 : 1000). Эпитак­
сиал структураларда нуктавий контактнинг таркалган 
каршилигига тагликнинг таъсири тузатиш функцияси
1.22-расм.
Б и р жинсли булмаган намунанинг бир к,атламли модели
(а),
парам етр А — 
нинг х,ар хил кийматидаги тузатиш
О
| 
~г О j
в УЛЪ
функцияси 
f
= 
4r0S|/?Jji4 нинг
га боглик^ик графиги.

---

yicoOm олинади. Бир жинсли булмаган намуна- 
'.*, 
.111111
Оир катламли моделини курамиз. Энг содда кури- 
пишдаги катламда кали или к буйича солиштирма карши- 
лик х,ар хил булса, берилган калинликда у бир жинсли 
Катлам, структура эса икки катламли структура деб кара- 
лади. Калинлиги 
d,
солиштирма утказувчанлиги ст, кат- 
ламда радиуси г0 булган Ом контакти жойлашган (1.22- 
расм). Иккинчи катлам тагликнинг юкори катлами би­
лан бир хил типдаги утказувчанликка эга булсин. Унинг 
утказувчанлиги 
о2
калинлиги етарлича катта булсин, у 
Холда тагликни ярим чексиз намуна деб хисоблаш мум­
кин булади. Юкори катламдаги электр потенциали 
<р
, таг­
ликдаги 
<р2
Лаплас тенгламасини каноатлантиради. Бунда 
чегаравий шартни куйидагича таърифлаш мумкин.
Металл-яримутказгич контактида потенциал узгармас, 
Катламнинг юкори сиртида токнинг нормал ташкил этув- 
чиси нолга тенг, катлам билан таглик чегарасида ток ва 
потенциал узлуксиз булади. Бу шартлар катлам ва таглик 
бир жинсли ва чегарада хажмий заряд йук деган фаразга 
туфи келади. Бир жинсли булмаган намунанинг бир кат- 
ламли модели буйича Лаплас тенгламасини ечиш билан 
Катламдаги хамда тагликдаги электр потенциаллар 
(<рг <р2) 
таксимотини топиш ва улар асосида контактнинг тар- 
Калган каршилигини тузатиш функцияси оркали хисоб­
лаш мумкин. 1.22б-расмда тузатиш функциясининг
f (Кх d/r() = UrQa
, /??лч
K=ol~o2/ol+o2
параметрнинг хар хил кийматларида 
d/r0 
нисбатга богланиши келгирилган. Бу ерда: ст, — улчани- 
ши керак булган катламнинг солиштирма утказувчанли- 
ги, 
а2
— киймати аник булган тагликнинг солиштирма 
утказувчанлиги. ст, 
=о2
булганда А^О, намуна эса бир жинс­
ли ярим чексиз хажмга эга булади. Шунинг учун
ДО, 
d/r0)=
1
булади. Агар 
r0>d
булса, катламнинг ва тагликнинг с о ­
лиштирма утказувчанликгтари бир-биридан катта фарк- 
ланса, тузатиш функциялари бирдан жуда куп фарк кила- 
ди. Агар контакт радиуси калинликдан кичик булса 
(rQ
66

---

тузатиш функцияси утказувчанликларнинг исталган к,ий- 
матларида бирга як,ин булади, Солиштирма царшиликни 
таркалган каршилик усули билан улчашда бир жинсли 
булмаган намуналар учун тузатиш функциясини кири- 
тиш ва электрон хисоблаш машиналарида \исоблаш би­
лан боглик булган к,ийинчиликларга карамасдан, бу усул 
калинлик буйича солиштирма каршиликни аниклашда 
кулайдир. Шунингдек, бу усулда катлам калинлиги ва 
унинг солиштирма каршилигига оид мухим чеклашлар 
мавжуд эмас. Юкорида келтирилган солиштирма карши- 
ликни улчашдаги мулохазалардан куринадики, уларни 
Улчашдаги хатоликларнинг энг катта ташкил этувчилари 
контакт юзасини хар бир улчашда такрорланмаслиги, кон- 
тактларни Ом контакти булмаслиги, сирт ишловига 
6
o f
- 
ликдиги, хажмий заряднинг таъсири билан борлангандир.