С. Зайнобидинов, X. Акромов яримутказгичлар

1.8-§. Солиштирма каршиликни нуктавий контактнинг 
таркалган (ёйилган) каршилик усули билан аниклаш
1. Усул назарияси.
Бу усул яримутказгич ва унинг (ясси) текис сиртига 
тик жойлашган зондцан иборат булган структура карши- 
лигини улчашга асосланган. Агар металл зонд яримут- 
казгичнинг ясси сирти билан кичик юзачали Ом контак­
ти \осил кдлса, шу контактдан ток утказиб улчанган кар­
шилик таркалган (ёйилган) каршилик деб аталади. 
Яримутказгичда контакт каршилиги кичик булган катта 
юзали 
иккинчи контакт хам бор ва у метают зонд-
дан узокда 1»г0 катта масофада жойлашган деб фараз 
Килинади. Бу усул кенг таркалган булиб, бир жинсли ярим­
утказгичларда, эпитаксиал структураларнинг хамма ту- 
рида, диффузион катламларда солиштирма каршиликни 
10_3-И0? Ом • см ораликда ва каршиликни калинлик буйи­
ча таксимотини аниклашда кулланилади, унинг афзал- 
ликларига яна намунанинг муайян нукгасидаги кичик хаж- 
мда каршиликни улчашни курсатиш мумкин. Таркалган 
каршилик усулининг назарияси яримчексиз яримутказ­
гич намуналаридан нуктавий зонд контакти оркали ток 
утганда хосил килган потенциалнинг таксимланишига 
асосланган (1.13а-расм). Маълумки, бундай хол учун п о­
тенциал таксимоти (1.21) формула билан аникланади. 
Равшанки, зонднинг яримутказгич билан хосил килган 
контактининг диаметри 2
гд
яримшар куринишида булган 
Холида хам потенциал таксимоти (1.21) га ухшаш булади. 
Контакт радиуси 
га
булганда намунадаги икки зонд ора­
сидаги кучланиш тушуви зонднинг электр потенциалига 
тенг булади.
(/=*(глж
Ц
£ )
- ( £ )
~ £ г ~ г Ы
( l. U l)
\
/г-,а \
 
/г»г0
о
Агар 
r=
1 Ог0 булса, контакт сох,асида калинлиги 
г-г0
булган 
Катламнинг кучланиши
"
=
*
'
•
>
-
*
■
<
*
)
( , Ш )
59

---

б^дади. У намунага тушган тула кучланишдан 10% кам. 
Бундан куринадики, зондцан окаётган токнинг киймати- 
ни асосан контакт сохасининг каршилиги аникдар экан, 
унинг кулами контакт радиуси канча кичик булса, у хам 
шунча кичик булади. Яримчексиз намуналарда электр 
потенциалининг таркалиши конунидан, таркалган кар­
шиликни (1.111) га кура
в 
и 
р
R’ = 7 = £ -
« И З )
билан аникдаш келиб чикади. Яримутказгич сиртидаги 
оксид катлами ва сирт утказувчанлигининг структура кар- 
шилигига таъсири кичик булса, уни таркалган каршилик 
киймати сифатида олиш мумкин. Маълумки, зонд ва 
яримутказгичларнинг деформацияланишлари туфайли, 
зонд билан яримутказгич орасидаги контактнинг хакикий 
шакли ва улчамини аниклаш жуда кийин. Шу билан бирга, 
у зонд контакти радиусига материалларнинг механик хос- 
саларига, зондга куйилган куч га боглик
Курилаётган усулнинг турт зондли усулдан фарки шун- 
даки, бунда контакт шакли кандайдир г0 — радиус га эга 
булган ясси айланадан иборат. Икки материалнинг Юнг 
модулларини ва зондга куйилган кучни билган холда кон­
тактнинг радиусини хисоблаш мумкин. Радиуси г0 булган 
ясси контактнинг яримчексиз намуналарда электр потен­
циалининг таксимланиши Лаплас тенгламаси оркали 
аникданади. Бундай структура (тузилма)нинг таркалган 
каршилиги
RP = i
Г 
(1.114)
формула билан топилади.
Тажрибада таркалган каршилик одатда икки, уч зонд 
ли чизмалар билан улчанади (1.20б,в-расм). Агар наму­
нада потенциалнинг тарксимланиши маълум булса, у
холда
к
=