Bo’lim boshlig’i N. I. Asqarov Kafedra mudiri Sh. A

qattiq fazali 
kristallash 
orqali monokristallik qatlamlar shakllanadi. Oqibatda parda – taglik 
chegaralari keskinlashib qattiq fazali qayta kristallash barcha bosqichlarda o’ta 
yuqori vakuum bo’lishini talab qiladi.
Agar lazer nurlanishi quvvati va uning nurini siljitib borish tezligi amorf 
qatlamni monokristallik taglikkacha suyultirishga etarlik bo’lsa, bu jarayon 
normal sharoitda kechishi mumkin. Yuqori chastotada changlab o’tqazilgan 440 
nm qalinlikdagi amorf germaniy qatlamini 
suyuq 
fazadan qayta kristallash yo’li 
bilan yuqori sifatli monokristallik qatlam hosil qilinadi. Bunda ishlatiladigan 
argon lazeri nurlanishi quvvati 9 Vt, siljib borish tezligi 200 sm/s. Jarayon vaqti 
kichik bo’lgani natijasida kirishmalar pardadan taglikka va aksincha o’ta 
olmaydi.
Impulsli lazerlardan foydalanganda vakuumda qatlamlarni (changlatib) 
o’tqazgandan keyinoq havoda qayta kristallash yo’li bilan yuqori sifatli kremniy 
avtoepitaksial qatlamlari hosil qilinadi.
Lazer ishlovi tufayli germaniyning kremniy taglikka va kremniyning 
sapfir taglikda 
geteroepitaksial 
qatlamlarini olish mumkin.
7. Polikristall kremniy tasmalarini kristallash. 
Kremniy tasmalarini 
(lentalarini) o’stirish arzon kremniy plastinalarini olish usullaridan biridir. Bu 
usul kesish, yedirish va silliqlashdan amallarsiz bajariladi. Bu amallarga esa 
dastlabki maerial 75% gacha isrof bo’ladi.
Dastavval, kremniyni bug’ fazasidan (past bosimda) vaqtincha taglikka 
o’tqaziladi. Keyin kremniy qatlami ajratib olinadi, taglikdan esa keyingi 
jarayonda yana foydalaniladi. Bu usul bilan 100 mkm va ortiq qalinlikdagi 
kremniy plastinalari olinadi. O’stirilgan tasma lazer bilan kerakli o’lchamli 

---

83 
plastinalarga ajratiladi. Biroq bu plastinalar mayda donali polikristallik 
tuzilishga ega, amalda ulardan foydalanib bo’lmaydi. Ularni ishlatishga yaroqli 
qilish uchun quyidagi amallar bajariladi: 
Polikristall donalarini yiriklash uchun lazerga ishlov beriladi. Lazer nuri, 
masalan, 7,5 sm/min tezlikda siljib borib tasmaning torgina qismini suyultiradi. 
Qayta kristallashdan so’ng polikristallik kremniy yirik donador tuzilishga ega 
bo’lib qoladi. YUqori sifatli tasmalarning sirti yaltiroq, mayda panjaraviy 
relefga ega. Relef davri 4,5 mkm. Argonda kuydirilganda silliq ko’zgusimon sirt 
hosil bo’ladi. Bunday tasmasimon materiallarda noasosiy zaryad tashuvchilar 
yashash vaqti katta va tuzilish nuqsonlari kam.
Qayta kristallangan tasmasimon yarimo’tkazgichlar quyoshiy elementlar 
ishlab chiqarishda keng qo’llaniladi.