Diffuziya yo’li bilan kirishmalarni legirlash. Kristall o’stirilgandan so’ng boshqa kirishmalar bilan legirlanadi. Masalan: n- turli p-tur bazasida diffuziya yo’li bilan olingan asosiy qatlamda donorli kirishmalar konsentrasiyasi akseptor hissasidan oshiq bo’lishi kerak. Hozirgi paytda hamma kremniyli quyosh elementlari diffuzion legirlash yo’li bilan yaratilayapti. Legirlanadigan kirishma diffuziya sohasida quyidagi usul bilan amalga oshiriladi.
Gazli yoki bug’li faza oqimiga kiritish
Vakuumda termik yoki elektrolitik kanal qilish yo’li bilan yupqa qatlamli legirlangan kirishmalarni diffuziya qilish
Kremniyga fosforni diffuziyalash odatda 950 0C da 10 minut davomida amalga oshiriladi. Bunda diffuziya 0,25 mkm diffuzion qatlam qalinligiga teng. Diffuziya jarayoni Fik qonuniga bo’ysunadi.