Исследование полупроводниковых структур в электронно-ионном микроскопе



Download 0,67 Mb.
bet1/4
Sana28.12.2022
Hajmi0,67 Mb.
#896544
TuriИсследование
  1   2   3   4
Bog'liq
мдмс лабораторн работа 2а


Лабораторная работа 2а


Исследование полупроводниковых структур в электронно-ионном микроскопе


Цель работы: знакомство с методиками исследования наноразмерных полупроводниковых структур методами растровой электронной микроскопии.
Продолжительность работы: 4 часа.
Приборы и принадлежности: растровый электронно-ионный микроскоп Helios NanoLab 650, образцы полупроводниковых структур.


Назначение и характеристики электронно-ионного микроскопа Helios NanoLab 650

Растровый электронно-ионный микроскоп Helios NanoLab 650 предназначен для проведения научных и прикладных исследований твердотельных образцов, включая наноструктурированные материалы и нанообъекты. Данный прибор позволяет проводить количественный морфологический анализ и измерение линейных размеров микрорельефа поверхности твёрдотельных структур в диапазоне 0.01–10000 мкм с относительной погрешностью 5 %, осуществлять ионное травление и осаждение различных материалов, препарировать образцы для исследования в просвечивающем электронном микроскопе.


Электронно-ионный микроскоп Helios NanoLab 650 дает возможность:

  • получать изображения структуры образцов с разрешением до 0,8 нм при различных ускоряющих напряжениях;

  • регистрировать изображения в диапазоне увеличений от 128 до 2000000 раз;

  • проводить качественный и количественный рентгеновский микроанализ материалов, получать двумерные карты распределения элементов по образцу;

  • проводить локальное травление различных материалов;

  • локально осаждать слои платины;

  • получать поперечные сечения образцов;

  • препарировать образцы для просвечивающего электронного микроскопа;

  • создавать и модифицировать микро- и нанообъекты.



Основные блоки и узлы растрового электронно-ионного микроскопа Helios NanoLab 650

На рисунке 1 показан внешний вид растрового электронно-ионного микроскопа.





Рисунок 1 – Растровый электронно-ионный микроскоп Helios NanoLab 650
1 – электронная колонна;
2 – ионная колонна;
3 – рабочая камера;
4 – система управления микроманипулятором;
5 – основной монитор;
6 – монитор, отображающий результат микроанализа;
7 – пульт управления;
8 – клавиатура с мышью;
9 – воздушная подвеска прибора и турбомолекулярный насос.



Download 0,67 Mb.

Do'stlaringiz bilan baham:
  1   2   3   4




Ma'lumotlar bazasi mualliflik huquqi bilan himoyalangan ©hozir.org 2024
ma'muriyatiga murojaat qiling

kiriting | ro'yxatdan o'tish
    Bosh sahifa
юртда тантана
Боғда битган
Бугун юртда
Эшитганлар жилманглар
Эшитмадим деманглар
битган бодомлар
Yangiariq tumani
qitish marakazi
Raqamli texnologiyalar
ilishida muhokamadan
tasdiqqa tavsiya
tavsiya etilgan
iqtisodiyot kafedrasi
steiermarkischen landesregierung
asarlaringizni yuboring
o'zingizning asarlaringizni
Iltimos faqat
faqat o'zingizning
steierm rkischen
landesregierung fachabteilung
rkischen landesregierung
hamshira loyihasi
loyihasi mavsum
faolyatining oqibatlari
asosiy adabiyotlar
fakulteti ahborot
ahborot havfsizligi
havfsizligi kafedrasi
fanidan bo’yicha
fakulteti iqtisodiyot
boshqaruv fakulteti
chiqarishda boshqaruv
ishlab chiqarishda
iqtisodiyot fakultet
multiservis tarmoqlari
fanidan asosiy
Uzbek fanidan
mavzulari potok
asosidagi multiservis
'aliyyil a'ziym
billahil 'aliyyil
illaa billahil
quvvata illaa
falah' deganida
Kompyuter savodxonligi
bo’yicha mustaqil
'alal falah'
Hayya 'alal
'alas soloh
Hayya 'alas
mavsum boyicha


yuklab olish