Исследование полупроводниковых структур в электронно-ионном микроскопе

Содержание отчета

• 
  Краткий конспект теоретического материала.
  
• 
  Описание применяемого в лабораторной работе оборудования.
  
• 
  Описание основных этапов получения изображения нанообъектов в режиме Immersion.
  
• 
  Распечатанные результаты исследования полупроводниковой наноструктуры.
  

Контрольные вопросы

1. 
   Назовите основные блоки, из которых состоит электронно-ионный микроскоп Helios NanoLab 650.
   
2. 
   Дайте определение рабочего расстояния?
   
3. 
   Объясните принцип работы детектора Эверхарта- Торнли.
   
4. 
   Объясните для чего используется режим Immersion?
   

Рекомендуемая литература

1. 
   Helios NanoLab User Operation Manual, FEI, 2010
   
2. 
   Гоулдстейн Дж., Ньюбери Д., Эчлин П. и др. Растровая электронная микроскопия и рентгеновский микроанализ: В 2-х книгах. Книга 1. Пер. с англ. – М.: Мир, 1984. – 303 с.