Исследование и разработка лазерной технологии модификации электрофизических характеристик системы кремний диоксид кремния

Структура и объем диссертации
Диссертация состоит из введения, пяти глав, общих выводов и 
заключения. Объем диссертации составляет 147 страницы, включая 3 
таблицы и 56 рисунков, список литературы, который содержит 116 
наименований и размещен на 10 страницах. 

---

12 
ГЛАВА 1. МИКРОТРУКТУРИРОВАНИЕ ПОВЕРХНОСТНОСТИ 
СИСТЕМЫ ДИОСИД КРЕМНИЯ – КРЕМНИЙ (ОБЗОР ЛИТЕРАТУРЫ) 
В настоящее время лазерные технологии обработки материалов широко 
используются в мире для производства и создания сложных топологических 
двух- и трехмерных микро- и наноструктур в различных материалах. 
Взаимодействие лазерного излучения с веществом, приводящее к 
образованию различных видов поверхностных структур, таких как рябь [9], 
волнистой рельеф [10,11] и микро- наноструктур [12,13] было широко 
представлено для полупроводников, металлов, и изоляторов [14]. Эти 
поверхностные структуры, как правило, образуются внутри области 
лазерного пятна и имеют шаг периодичности от сотен нанометров до 
нескольких микрометров. 
Все большую значимость лазерная технология стала приобретать в 
микроэлектронике. Она нашла применение в таких операциях как напыление, 
отжиг, 
осаждение 
и 
травление 
пленок, 
легирование 
примесей, 
геттерирование, скрайбирование, эпитаксия [15]. Лазерный луч не просто 
несет с собой энергию, но и может обладать сложной пространственной, 
временной, спектральной структурой. В нем может быть закодирован 
большой объем информации так, чтобы воздействие на различные процессы 
в твердом теле осуществовалось эффективным и избирательным образом. В 
этом 
смысле 
действие 
лазерного 
луча 
обладает 
информационно-
энергетическим характером и дает возможность управления процессами.