Исследование и разработка лазерной технологии модификации электрофизических характеристик системы кремний диоксид кремния



Download 12,44 Mb.
Pdf ko'rish
bet1/42
Sana23.02.2022
Hajmi12,44 Mb.
#169857
TuriИсследование
  1   2   3   4   5   6   7   8   9   ...   42
Bog'liq
4 - Дисертация



Санкт-Петербургский национальный исследовательский университет 
информационных технологий, механики и оптики (НИУ ИТМО). 
 
На правах рукописи 
Хуинь Конг Ту 
ИССЛЕДОВАНИЕ И РАЗРАБОТКА ЛАЗЕРНОЙ ТЕХНОЛОГИИ 
МОДИФИКАЦИИ ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИХ ХАРАКТЕРИСТИК СИСТЕМЫ 
КРЕМНИЙ – ДИОКСИД КРЕМНИЯ 
Специальность 05.27.03 - Квантовая электроника 
Диссертация на соискание ученой степени
кандидата технических наук 
Научный руководитель: доктор технических наук, профессор 
Скворцов Альберт Матвеевич 
Санкт-Петербург – 2014



СОДЕРЖАНИЕ 
ВВЕДЕНИЕ…………………..…………………………………………………...5
ГЛАВА 1. МИКРОТРУКТУРИРОВАНИЕ ПОВЕРХНОСТНОСТИ 
СИСТЕМЫ ДИОСИД КРЕМНИЯ – КРЕМНИЙ (ОБЗОР ЛИТЕРАТУРЫ) ... 12
1.1. Методы нано- и микротруктурирования поверхности системы SiO
2
/Si .. 12
1.1.1. Литографические методы микро- и наноструктурирования 
поверхности. ...................................................................................................... 13
1.1.2. Электрохимический метод микроструктурирования системы 
SiO
2
/Si… ............................................................................................................. 15
1.1.3. Микроструктурирование системы SiO
2
/Si при воздействии мощного 
ионного пучка .................................................................................................... 17
1.1.4. Лазерный метод микроструктурирования поверхности кремния и 
системы SiO
2/
Si. ................................................................................................. 19
1.2. Формирования периодических структур на поверхности системы SiO
2
/Si 
при воздействии ультракоротких лазерных импульсов .................................... 22
1.3. Электрофизические свойства наноструктурированного кремния ............ 28
1.4. Изменение электрофизических свойств системы SiO
2
/Si при лазерном 
облучении ………………………………………………………………………..32
1.5. Применение лазерного излучения для контроля и диагностики скрытых 
дефектов в изделях микроэлектроники .............................................................. 34
Выводы к главе 1 ................................................................................................... 37

Download 12,44 Mb.

Do'stlaringiz bilan baham:
  1   2   3   4   5   6   7   8   9   ...   42




Ma'lumotlar bazasi mualliflik huquqi bilan himoyalangan ©hozir.org 2024
ma'muriyatiga murojaat qiling

kiriting | ro'yxatdan o'tish
    Bosh sahifa
юртда тантана
Боғда битган
Бугун юртда
Эшитганлар жилманглар
Эшитмадим деманглар
битган бодомлар
Yangiariq tumani
qitish marakazi
Raqamli texnologiyalar
ilishida muhokamadan
tasdiqqa tavsiya
tavsiya etilgan
iqtisodiyot kafedrasi
steiermarkischen landesregierung
asarlaringizni yuboring
o'zingizning asarlaringizni
Iltimos faqat
faqat o'zingizning
steierm rkischen
landesregierung fachabteilung
rkischen landesregierung
hamshira loyihasi
loyihasi mavsum
faolyatining oqibatlari
asosiy adabiyotlar
fakulteti ahborot
ahborot havfsizligi
havfsizligi kafedrasi
fanidan bo’yicha
fakulteti iqtisodiyot
boshqaruv fakulteti
chiqarishda boshqaruv
ishlab chiqarishda
iqtisodiyot fakultet
multiservis tarmoqlari
fanidan asosiy
Uzbek fanidan
mavzulari potok
asosidagi multiservis
'aliyyil a'ziym
billahil 'aliyyil
illaa billahil
quvvata illaa
falah' deganida
Kompyuter savodxonligi
bo’yicha mustaqil
'alal falah'
Hayya 'alal
'alas soloh
Hayya 'alas
mavsum boyicha


yuklab olish