Исследование и разработка лазерной технологии модификации электрофизических характеристик системы кремний диоксид кремния

Публикации в других изданиях: 
9. Хуинь Конг Ту, Скворцов А. М. Механизм возникновения и развития 
микроплавления поверхности кремния при лазерном облучении системы 
SiO
2
/Si // Новый университет. – 2013. – № 4 (14). – С. 60-65. 
10. Хуинь Конг Ту, Скворцов А.М., Вейко В.П. Формирование сетки линий 
скольжения при облучении системы SiO
2
/Si импульсным волоконным 
лазером // Современный научный вестник. – 2012. – № 14 (126). – С. 34-38. 
11. C.T.Huynh, A.M. Skvortsov, V.P.Veiko, R. A. Khaletskiy. Microstructuring 
system SiO
2
/Si with nanosecond pulsed fiber laser // Abstracts of «International 
Conference “Fundamentals of Laser Assisted Micro- and Nanotechnologies” 
(FLAMN-13)» St. Petersburg – 2013. – P.78-79. 
12. C.T.Huynh, A.M. Skvortsov, A.A. Petrov. Nanostructured system SiO
2
/Si by 
ArF excimer laser irradiation // Abstracts of «International Conference 
“Fundamentals of Laser Assisted Micro- and Nanotechnologies” (FLAMN-13)» 
St. Petersburg – 2013. – P.79-80. 
13. C.T. Huynh, V.P. Veiko, A.M. Skvortsov, A.A. Petrov. Destruction of 
monocrystalline silicon with nanosecond pulsed fiber laser, accompanied by the 
oxidation of ablation microparticles // Abstracts of «International Conference 
“Fundamentals of Laser Assisted Micro- and Nanotechnologies” (FLAMN-13)» 
St. Petersburg – 2013. – P.81. 
14. Хуинь Конг Ту, Скворцов А.М., Петров А.А. АСМ исследования 
наностуктур, формирующихся при модифицировании поверхности системы 
SiO
2
/Si ArF лазерными импульсами // Материалы III Международной научно 

---

146 
- практической конференции молодых ученых и специалистов – Красноярск: 
Изд. Научно-инновационный центр, 2013. – С. 236-242. 
15. Huynh Cong Tu, Skvortsov A.M., Khaletskiy R.A. Еffect of laser 
microstructuring on electrophysical properties of system SiO
2
/Si // Материалы IX 
Международной научно-практической конференции «Наука и образование – 
2012/2013» / Publishing House “Education and Science” s.r.o. (Чехия, Прага). –
2013. – P. 9-10.
16. Хуинь Конг Ту. Упругие механические напряжения, возникающие в 
системе SiO
2
/Si, при лазерном облучении // Сборник тезисов I 
Всероссийского конгресса молодых ученых. СПб: НИУ ИТМО. – 2012. – C. 
157. 
17. Хуинь Конг Ту. Методы формирования нанокластеров кремния в системе 
диоксид кремния – кремний // Сборник тезисов VIII всероссийской 
межвузовской конференции молодых ученых. СПб: СПбГУ ИТМО. – 2011. – 
Вып. 2. – С. 9. 
18. Хуинь Конг Ту. Изменение морфологии поверхности окисленных 
кремниевых пластин под действием лазерной обработки // Сборник трудов 
молодых ученых, аспирантов и студентов научно-педагогической школы 
кафедры ПиБКС «Информационная безопасность, проектирование и 
технология элементов и узлов компьютерных систем». Часть 2 – СПб: НИУ 
ИТМО. – 2011. – С. 10-12. 
19. Хуинь Конг Ту, Е.И. Ефимов. Формирование с помощью волоконного 
лазера линий скольжения в системе Si-SiO
2
// Сборник трудов молодых 
ученых, аспирантов и студентов научно-педагогической школы кафедры 
ПБКС «Информационная безопасность, проектирование и технология 
элементов и узлов компьютерных систем». Часть 2 – СПб: НИУ ИТМО. – 
2011. – С.7-10. 

---

147 
20. Хуинь Конг Ту. Влияние пленки пористого кремния в диодных структурах 
кремниевых солнечных элементов на их спектральную характеристику // 
Сборник трудов молодых ученых, аспирантов и студентов научно-
педагогической школы кафедры ПБКС «Информационная безопасность, 
проектирование и технология элементов и узлов компьютерных систем». – 
СПб: НИУ ИТМО. – 2011. – С. 9-11. 
21. Хуинь Конг Ту. Спектральная характеристика кремниевого фотодиода с 
пленкой пористого кремния на аноде // Сборник трудов молодых ученых, 
аспирантов и студентов научно-педагогической школы кафедры ПБКС 
«Информационная безопасность, проектирование и технология элементов и 
узлов компьютерных систем». – СПб: НИУ ИТМО. – 2011. – С. 7-9.