Диффузия, растворимость и электрические свойства


Рис. 4. Концентрационное распределение празеодима в кремнии. Т = 1250



Download 0,77 Mb.
bet5/9
Sana21.02.2022
Hajmi0,77 Mb.
#75741
TuriИсследование
1   2   3   4   5   6   7   8   9
Bog'liq
3.физ-Зайнобидинов, Назиров

Рис. 4. Концентрационное распределение празеодима в кремнии. Т = 12500С. t = 22 час  --- эксперимент. --- теория.
Рис. 5. Температурная зависимость коэффициента диффузии празеодима в кремнии.

Концентрационное распределение носителей заряда в слоях кремния, легированного Sc, Pr и Eu, определенное с помощью электрических измерений, может быть описано соотношением:


C  (2  5)1017erfc x2Dt, cm-3.


Как известно, элементы III и V B групп периодической системы Д.И.Менделеева при термическом равновесии располагаются в Si и Ge в узлах решетки. На основании имеющихся в настоящее время теоретических расчетов, принято считать, что равновесные концентрации междоузельных атомов этих элементов на три и более порядков меньше их концентраций в узлах решетки. Однако, даже в случаях, когда элементы III A группы – гольмий, эрбий, иттербий и др. вводятся в кремний методом ионной имплантации, т.е., когда неравновесные междоузельные атомы имеются в значительных концентрациях, в проведённых экспериментах также не наблюдается существенная диффузия РЗЭ в кремнии, диффузионные параметры которых отличалась бы от классических.







Рис. 6. Температурная зависимость коэффициента европия в кремнии. Точки  - эксперимент, сплошная --- расчет.

Таким образом, можно предположить, что редкоземельние элементы: скандий, празеодим и европий – элементы третьей группы периодической системы, исследованные нами, также являются примесями замещения и диффундируют по узлам кристаллической решетки (вакансионный механизм диффузии) кремния.


Температурная зависимость коэффициента диффузии для соответствующих примесей Sc, Pr и Eu в кремнии носит аррениусовский характер и может быть описана следующими соотношениями:


DSc=810-2 exp(-3.2 eV/kT) cm2s-1.
DPr=210-2 exp(-3,2 eV/kT) cm2ꞏs-1.
DEu=210-2 exp(-2.8 eV/kT) cm2s-1.

Глубина проникновения примесей Sc, Pr и Eu в кремнии, для оценки которой нами использовалась величина 2 , во всем исследованном интервале температур не превышает нескольких микрометров. Поверхностные концентрации примесей РЗЭ: Sc, Pr и Eu в кремнии составляют при этом величину  1018-1019 см-3.


Как показывает анализ полученных данных, коэффициенты диффузии в зависимости от температуры и энергии активации примесей Sc, Pr и Eu в кремнии располагаются в диапазоне значений, характерных для диффузии типичных элементов III B группы периодической системы, диффундирующих по узлам кристаллической решетки. Сопоставление наших данных по диффузии примесей Sc, Pr и Eu в кремнии с ранними результатами по диффузии других РЗЭ в кремнии, полученными с помощью радиоактивной и др. методик, использованных выше, показывает, что способ нанесения диффузанта и среда диффузии существенно не влияют на диффузионные параметры редкоземельных элементов в кремнии.



Download 0,77 Mb.

Do'stlaringiz bilan baham:
1   2   3   4   5   6   7   8   9




Ma'lumotlar bazasi mualliflik huquqi bilan himoyalangan ©hozir.org 2024
ma'muriyatiga murojaat qiling

kiriting | ro'yxatdan o'tish
    Bosh sahifa
юртда тантана
Боғда битган
Бугун юртда
Эшитганлар жилманглар
Эшитмадим деманглар
битган бодомлар
Yangiariq tumani
qitish marakazi
Raqamli texnologiyalar
ilishida muhokamadan
tasdiqqa tavsiya
tavsiya etilgan
iqtisodiyot kafedrasi
steiermarkischen landesregierung
asarlaringizni yuboring
o'zingizning asarlaringizni
Iltimos faqat
faqat o'zingizning
steierm rkischen
landesregierung fachabteilung
rkischen landesregierung
hamshira loyihasi
loyihasi mavsum
faolyatining oqibatlari
asosiy adabiyotlar
fakulteti ahborot
ahborot havfsizligi
havfsizligi kafedrasi
fanidan bo’yicha
fakulteti iqtisodiyot
boshqaruv fakulteti
chiqarishda boshqaruv
ishlab chiqarishda
iqtisodiyot fakultet
multiservis tarmoqlari
fanidan asosiy
Uzbek fanidan
mavzulari potok
asosidagi multiservis
'aliyyil a'ziym
billahil 'aliyyil
illaa billahil
quvvata illaa
falah' deganida
Kompyuter savodxonligi
bo’yicha mustaqil
'alal falah'
Hayya 'alal
'alas soloh
Hayya 'alas
mavsum boyicha


yuklab olish