Диффузия, растворимость и электрические свойства


III. Результаты и обсуждение



Download 0,77 Mb.
bet6/9
Sana21.02.2022
Hajmi0,77 Mb.
#75741
TuriИсследование
1   2   3   4   5   6   7   8   9
Bog'liq
3.физ-Зайнобидинов, Назиров

III. Результаты и обсуждение

Обнаружено, что примеси Sc, Pr и Eu проявляют, как и другие редкоземельные элементы, исследованные нами, мелкую акцепторную природу на поверхности и в объеме кремния n-типа, после диффузионного отжига. Методом эффекта Холла определена подвижность носителей заряда – дырок в диффузионно-легированных примесях Sc, Pr и Eu в слоях кремния. Подвижность носителей заряда в диффузионных слоях Si, Si и Si равна ~ 145  250 см2Вс и уменьшается с увеличением концентрации примесей Sc, Pr и Eu в кремнии.


По температурной зависимости коэффициента Холла – концентрации носителей заряда, а также методом изотермической релаксации емкости и тока каких-либо глубоких уровней в запрещенной зоне кремния характерных для Sc, Pr и Eu в кремнии, не обнаружено. Концентрационное распределение носителей заряда в слоях кремния, легированного примесей Sc, Pr и Eu, определенное с помощью электрических измерений, может быть описано соотношениями:
C ≈ (2÷4)×1017 erfc(x / 2 ), см-3.

При этом поверхностная концентрация атомов Sc, Pr и Eu в кремнии, определенная с помощью метода меченых атомов, составляет  1018  1019 см-3. Таким образом, концентрация электрически активных РЗЭ примесей Sc, Pr и Eu в кремнии составляет менее 10 % от общей концентрации примесей Sc, Pr и Eu в кремнии.




Таблица 1.
Коэффициенты диффузии скандия, празеодима и европия в кремнии.



Температура диффузии, 0C

DSc, см2ꞏс-1

DPr, см2ꞏс-1

DEu, см2ꞏс-1

1100

1.5ꞏ10-14

3.6ꞏ10-14

1.0ꞏ10-14

1150

3.7ꞏ10-14

9.5ꞏ10-14

2.5ꞏ10-14

1200

9.1ꞏ10-13

2.0ꞏ10-13

5.2ꞏ10-13

1250

2.0ꞏ10-13

5.3ꞏ10-13

1.2ꞏ10-13

Как показывает анализ полученных данных, коэффициенты диффузии и энергии активации примесей Sc, Pr и Eu в кремнии располагаются в диапазоне значений, характерных для диффузии типичных элементов III группы, а также для других РЗЭ, являющихся примесями замещения и диффундирующих по узлам кристаллической решетки. Это позволяет утверждать, что РЗЭ примесей Sc, Pr и Eu, этой же группы также является примесью замещения и диффундирует подобно другим РЗЭ по узлам кристаллической решетки кремния.


Сопоставление полученных данных с ранними результатами по диффузии РЗЭ в кремнии, полученными с помощью радиоактивной и др. методик, показывает, что способ нанесения диффузанта и среда диффузии не влияют существенно на диффузионные параметры РЗЭ в кремнии. Таким образом, можно предположить, что примеси РЗЭ Sc, Pr и Eu - элементы третьей группы Периодической системы, исследованные нами, также являются примесями замещения и диффундируют по узлам кристаллической решетки (вакансионный механизм диффузии) кремния.



Download 0,77 Mb.

Do'stlaringiz bilan baham:
1   2   3   4   5   6   7   8   9




Ma'lumotlar bazasi mualliflik huquqi bilan himoyalangan ©hozir.org 2024
ma'muriyatiga murojaat qiling

kiriting | ro'yxatdan o'tish
    Bosh sahifa
юртда тантана
Боғда битган
Бугун юртда
Эшитганлар жилманглар
Эшитмадим деманглар
битган бодомлар
Yangiariq tumani
qitish marakazi
Raqamli texnologiyalar
ilishida muhokamadan
tasdiqqa tavsiya
tavsiya etilgan
iqtisodiyot kafedrasi
steiermarkischen landesregierung
asarlaringizni yuboring
o'zingizning asarlaringizni
Iltimos faqat
faqat o'zingizning
steierm rkischen
landesregierung fachabteilung
rkischen landesregierung
hamshira loyihasi
loyihasi mavsum
faolyatining oqibatlari
asosiy adabiyotlar
fakulteti ahborot
ahborot havfsizligi
havfsizligi kafedrasi
fanidan bo’yicha
fakulteti iqtisodiyot
boshqaruv fakulteti
chiqarishda boshqaruv
ishlab chiqarishda
iqtisodiyot fakultet
multiservis tarmoqlari
fanidan asosiy
Uzbek fanidan
mavzulari potok
asosidagi multiservis
'aliyyil a'ziym
billahil 'aliyyil
illaa billahil
quvvata illaa
falah' deganida
Kompyuter savodxonligi
bo’yicha mustaqil
'alal falah'
Hayya 'alal
'alas soloh
Hayya 'alas
mavsum boyicha


yuklab olish