Академия наук республики узбекистан

Таблица 2.
Химический состав многослойного пакета и вид поперечного сечения 
 
EDS-
Measuring on Cross
-
Section of Sample, 25kV 
ZrO
2
-Al
2
O
3
-Al-
Si
-Ni 
Atom-%
 
 
EDX-
Points 
№ 
Al 
Ti 
Cr 
Fe 
Co
 
Ni 
Mo 
Si 
O
 
Zr 
∑ 
 
 
1 3,49 
 
0,00 
0,00 
-
 
0,13 
-
 
6,52 59,86 30,0 
 
2 47,80 
-
 
0,08 
0,07 
-
 
0,18 
-
 
1,22 48,52 2,12 100,0 
3 52,25 
-
 
0,03 
0,13 
-
 
0,12 
-
 
1,78 45,33 0,37 100,0 
4 14,33 
-
 
-
 
-
 
-
 
0,26 
-
 
68,29 17,11 
-
 
100,0 
5 67,10 0,05 
8,07 
0,52 
5,29 17,28 1,69 
-
 
-
 
-
 
100,0 
6 2,17 
0,37 25,97 1,21 11,48 53,65 5,15 
-
 
-
 
-
 
100,0 
Ионно
-
стимулированный EB
PVD
был использован
для
получения 
композиции градуированных
Ti
и
Al 
и
Si
-
Si
-
(Al) покрытий
. 
Многослойные 
структуры с заданными свойствами были получены с помощью 
контролируемых параметров процесса, такие как температура подложки, 
энергии ионов и плотность ионного потока (рис. 2.
15
).
В результате взаимной 
88 

---

диффузии Ni, Ti, Al, Si, обеспечивается улучшенная адгезия промежуточного 
слоя (адаптация материала) с подложкой на основе никеля.
Была подтверждена возможность изготовления многослойных 
покрытий металл
-
керамика с промежуточными слоями ионно
-
стимулированным методом в одном технологическом цикле.
Верхние 
керамические слои ZrO
2
/ AlO
2
были осаждены в том же оборудовании, 
показали отличную совместимость с промежуточными слоями и 
продемонстрировали необходимые параметры для теплозащитных покрытий. 
Этот факт дает возможность создания теплозащитных покрытий на основе 
широко распространенных материалов с помощью ионно
-
стимулированного 
метода.
ЗАКЛЮЧЕНИЕ 
На основе проведённых исследований по докторской диссертации на 
тему «Моносилановая технология получения поликристаллического кремния 
и ионно
-
стимулированные методы создания кремниевых структур» 
представлены следующие выводы:
1. Разработана моносилановая технология получения поликристалли
-
ческого кремния на основе синтеза алкоксисиланов в результате прямой 
реакции металлургического кремния и спирта и создано экспериментальное 
технологическое оборудование для его осуществления.
2. Впервые проведен процесс измельчения кремния
до размеров от 
30 
до
100 мкм в среде жидкости, применяемой в последующем в качестве
растворителя в синтезе алкоксисиланов, что защищает новые поверхности 
кремниевых частиц от воздействия кислорода и влаги, в результате 
исключается индукционный период прямой реакции металлургического 
кремния и спирта, а также исключается протекания побочных реакций под 
влиянием воды.
3. Предложен способ дозированной подачи суспезии, состоящей из 
частиц металлургического кремния, порошка катализатора и растворителя, в 
реактор, который компенсирует израсходованный в процессе реакции 
кремний,
и показано
стабильное протекание реакции синтеза.
4. Предложен метод активации реакционной среды, где посторонные 
примеси, поступающие в реакционную среду в составе металлургического 
кремния, уносятся из реактора с излишком расворителя, в результате чего 
уровень растворителя и активность реакционной среды остаются 
постоянными, причем излишек растворителя непрерывно удаляется из 
реактора через керамическую мембрану, установленную в стенках реактора. 
5. Установлено, что одновременное применение технических решений 
по измельчению кремния в среде растворителя, дозированной подаче 
суспензии в реактор и удалению излишек растворителя вместе 
растворенными в нем посторонними примесями обеспечивает сохранение 
постоянного количества кремния, катализатора и растворителя на весь 
89 

---

период протекания процесса синтеза и реализацию полностью непрерывного 
процесса синтеза алкоксисиланов.
6. Предложен метод приготовления этилата натрия в защитной среде 
тетраэтоксисилана и в результате применения свежеприготовленого этилата 
натрия в качестве катализатора при синтезе моносилана достигнуто 
увеличение производительности технологического процесса за счет 
уменьшения времени контакта реагентов более чем в 5 раз.
7. Впервые предложено очищение моносилана на абсорбере, где в 
качестве абсорбента используется триэтоксисилан, охлажденный ниже 
-
140
о
С и моносилан отделяется от триэтоксисилана разделением фаз при 
температуре 
-80
о
С на разделителе, установленном в верхней части абсорбера, 
в результате чего обеспечивается глубокая очистка моносилана в коротком 
технологическом цикле.
8. Предложены способ разделения
и контроля потока заряженных 
частиц и устройство для его осуществления, позволяющие использовать 
ионы, генерированные при электронно
-
лучевом испарении,
для контроля и 
управления процессами на ростовой поверхности.
9. Достигнуто повышение уровня легирования до 10
19
см
-3
путем 
ионно
-
стимулированного встраивания атомов сурьмы в кристаллическую 
решетку кремния во время роста при дельта легировании. 
10. Экспериментально доказана возможность целенаправленного 
управления степенью релаксации напряжений в гетероструктурах во время 
их формирования при ионно
-
стимулированной молекулярно
-
лучевой
эпитаксии.
11. Установлено, что при формировании наноостровков германия на 
поверхности кремния методом ионно
-
стимулированной молекулярно
-
лучевой эпитаксии
максимальное увеличение их плотности и сужение 
функции распределения по размерам достигается при энергии ионов 200эВ.
12. Обнаружено при температурах выше 500К проявление 
тепловольтаических
свойств кремниевых
плёночных
p-n
структур, 
полученных
ионно
-
стимулированным вакуумным осаждением
. 
13. Предложено создание
промежуточных
слоев
с химическим 
сродством и градиентным переходом для корректировки теплобарьерных 
покрытий ионно
-
стимулированным методом
. 
90 

---